中科院“微納結(jié)構(gòu)與器件的激光加工與表征平臺(tái)”通過(guò)驗(yàn)收

由中科院修購(gòu)專款資助的電工所“微納結(jié)構(gòu)及器件的激光加工與表征平臺(tái)”順利通過(guò)院修購(gòu)專項(xiàng)辦公室驗(yàn)收。該平臺(tái)由加工儀器設(shè)備和檢測(cè)儀器設(shè)備兩大部分組成，可以對(duì)材料的表面形貌、表面物性、內(nèi)部微結(jié)構(gòu)等多個(gè)領(lǐng)域進(jìn)行分析和檢測(cè)，并可用于納米級(jí)精密測(cè)量。

　　其中，用于表面形貌分析和檢測(cè)、以及物性分析的原子力顯微鏡掃描范圍達(dá)到90μm×90μm×10μm，噪聲水平小于0.3A，分辨率達(dá)原子級(jí)；用于納米級(jí)精密測(cè)量的激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)線性測(cè)長(zhǎng)為0-40meters、激光頭頻率穩(wěn)定性為±0.05ppm、分辨率達(dá)到0.038nm；用于全方面粘度測(cè)試的粘度測(cè)試系統(tǒng)不僅能夠控制剪切力和剪切率等影響因素，而且能夠處理NEWTON、 OSTWALD、 BINGHAM、 STEIGER-ORI、 CASSON、HERSCHEL –BULKLEY等各種數(shù)學(xué)模型的數(shù)據(jù)；此外，掃描式激光多普勒測(cè)振儀可以測(cè)量高頻微小樣品（微米級(jí)）振動(dòng)和遠(yuǎn)距離物體表面振動(dòng)；X射線能譜儀可以分析介于Be4-U92之間的元素，能量分辨率（Mn-Ka）優(yōu)于129eV；紅外熱像儀能夠能夠?qū)Ω邷責(zé)嵩催M(jìn)行非接觸式的溫度分布變化動(dòng)態(tài)檢測(cè)和分析，在線監(jiān)測(cè)被測(cè)對(duì)象溫度的變化；以及微電池測(cè)試系統(tǒng)和安捷倫網(wǎng)絡(luò)分析儀。

　　該平臺(tái)已于今年2月開(kāi)始對(duì)外進(jìn)行測(cè)試服務(wù)，其中原子力顯微鏡、電制冷能譜儀兩臺(tái)設(shè)備已經(jīng)加入*儀器設(shè)備共享管理平臺(tái)。

　　微納結(jié)構(gòu)激光加工與器件光電特性測(cè)試平臺(tái)的建成將大幅度提升電工所在材料研究領(lǐng)域的分析測(cè)試能力，為新能源利用、太陽(yáng)能電池、太陽(yáng)能發(fā)電、超導(dǎo)材料、生物電磁學(xué)、微納米加工、電機(jī)與電力電子及電氣驅(qū)動(dòng)、應(yīng)用超導(dǎo)技術(shù)等前沿領(lǐng)域的研發(fā)提供必要的檢測(cè)手段。作為結(jié)合納米器件激光制備與光電特性評(píng)價(jià)的綜合性基礎(chǔ)科學(xué)研究與高技術(shù)發(fā)展平臺(tái)，該平臺(tái)的部分功能與指標(biāo)達(dá)到水平。

 中科院“微納結(jié)構(gòu)與器件的激光加工與表征平臺(tái)”通過(guò)驗(yàn)收