電子行業(yè)用超純水系統(tǒng)價(jià)格的標(biāo)準(zhǔn)：
水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)：電阻率≥15MΩ.cm,達(dá)到中國電子Ⅱ級用水標(biāo)準(zhǔn)
電阻率≥18MΩ.cm,達(dá)到中國電子Ⅰ級用水標(biāo)準(zhǔn)
工藝：一級反滲透+混床
標(biāo)準(zhǔn)配制：原水→原水箱→原水泵→絮凝劑裝置→機(jī)械過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑裝置→保安過濾器→高壓泵→反滲透裝置→中間水箱→中間水泵→混床→純水箱→輸送泵→紫外/臭氧殺菌→終端過濾→用水點(diǎn)（另配RO膜清洗裝置）
電子級超純水價(jià)格中國標(biāo)準(zhǔn)（GB/T11446.1-1997）
項(xiàng)目 級別 | 比電阻 MΩ.cm | 硅 ≤ μg/L | >1μm微粒數(shù)＜個(gè)/ml | 細(xì)菌個(gè)數(shù)＜個(gè)/ml | 銅≤ μg/L | 鋅≤ μg/L | 鎳≤μg/L | 鈉≤ μg/L | 鉀≤ μg/L | 氧≤ μg/L | 硝酸根≤ μg/L | 磷酸根≤ μg/L | 硫酸根≤ μg/L | 總有機(jī)碳≤ μg/L |
EW-Ⅰ | 18（95%的時(shí)間不低于17） | 2 | 0.1 | 0.001 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1 | 1 | 20 |
EW-Ⅱ | 15（95%的時(shí)間不低于13） | 10 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 1 | 1 |
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