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PECVD鍍膜設備

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更新時間：2024-10-05 08:34:43瀏覽次數(shù)：96次

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北京嘉潤通力科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

PEVCD(等離子增強化學氣相沉積)最重要的應用之一是沉積微電子器件用絕緣薄膜，在低溫下沉積氮化硅、氧化硅或硅的氮氧化物一類的絕緣薄膜，這對于超大規(guī)模集成芯片的生產(chǎn)是至關重要的

詳細介紹

PEVCD(等離子增強化學氣相沉積)最重要的應用之一是沉積微電子器件用絕緣薄膜，在低溫下沉積氮化硅、氧化硅或硅的氮氧化物一類的絕緣薄膜，這對于超大規(guī)模集成芯片的生產(chǎn)是至關重要的。PECVD的一個重要優(yōu)點是能在比熱CVD更低的溫度下沉積。PECVD技術在250～400度的溫度范圍內(nèi)使氮化硅薄膜的沉積成為可能。PECVD沉積SiO2絕緣層被廣泛地應用于半導體器件工藝，最近在光學纖維的涂層和某些裝飾性涂層方面獲得了應用。近年來，PECVD在摩擦磨損、腐蝕防護和切削工具涂層應用方面獲得了很大進展。

	PECVD設備可制備的薄膜 SiNx SiO2 α-Si Poly-Si GaAs膜 Si:H膜 SiC膜 DLC多晶硅廣泛應用于微電子和光電子領域科研和生產(chǎn)。

	PECVD沉積設備參數(shù) 特殊的平板式φ200H150反應室系統(tǒng)極限真空110-5Pa 帶加熱和氣浴噴淋系統(tǒng) 電源：13.56M Hz300W / 40K Hz600W / 雙電源數(shù)字定時器，精度1秒數(shù)字溫度控制系統(tǒng) 工藝程序自動化觸摸屏控制、動畫實時顯示工藝過程的狀況和提示質(zhì)量流量計4個；氣路4路 ( 可增選 )。樣品加熱：30～600℃，控溫精度：≤ ±1℃ 強制循環(huán)水冷