鑒于很多人還不太了解離子注入機是否可以進行進口真空泵維修的輔助工作，雅之雷德在這里給大家講解一下，以及它的操作方法。
我們今天討論的是離子注入機可維修進口真空泵的哪些故障。
1.修復真空系統(tǒng)的方法及步驟
針對這臺離子注入機的關鍵技術指標是高真空和高電壓(關于高壓修復略)這兩個難題，采用下列技術措施。
(1)把整個設備化整為零分段檢修
這臺離子注入機各種粗細真空管道有4米多長，大小法蘭、接頭、觀察窗有60多個，我們先把全機拆開成許多小單元，并用航汽油清洗、烘干，等待裝配。
(2)進口真空泵、擴散泵真空極限的確定
在測定真空極限參數(shù)以前，應制作一個多用圓蓋板，圓蓋板上有兩個能固定熱孤電離規(guī)的接頭。經(jīng)檢修后的擴散泵應使用圓蓋板堵住并監(jiān)測真空極限值。經(jīng)一周的反復試驗后分別得到了1×10-3和5×10-7托的真空值。極限參數(shù)確定后，可逐段聯(lián)接系統(tǒng)。
(3)擴散泵進氣口至三通之間的密封
把擴散泵裝在主機架上并與三通相接，關閉三通前Φ60閥，三通的另一端用多用圓蓋板堵住。經(jīng)修復后測得真空值為1×10-6托。
(4)三通至加速聚焦器之間的密封
把三通與加速聚焦瓷套相接，并用多用圓蓋板把瓷套一端堵住。經(jīng)檢漏后測得真空值為4×10-6托。
(5)加速瓷套與掃描器、靶室之間的密封
把加速瓷套與掃描器、靶室相接，并用圓蓋板取代靶室的靶蓋。經(jīng)檢漏后測得真空值為3×10-5托。在這一環(huán)節(jié)中，重點應解決小電機轉動的動密封和多接頭、多觀察窗的密封間題。在后級真空問題基本被解決之后，則應向前級擴展，一直擴展到離子源前的位置處。
(6)獲得系統(tǒng)真空極限的方法
在逐段安裝檢漏全機以后，系統(tǒng)的zui高真空值還需進一步獲得。其方法是:每天連續(xù)抽8~12小時，約3~5天后得到了2.2×10-6托的真空值。這樣，就確定了系統(tǒng)的真空極限，也滿足了工藝技術中的要求。
