好凱德多級爪式干式真空泵是上世紀末快速發(fā)展成熟的新型(變?nèi)莘e)真空泵,由于其如下突出優(yōu)點:好凱德干式真空泵腔內(nèi)無油、對被抽容器沒有油污染、并能直排大氣、單泵就能達到3 Pa等,在電子行業(yè)得到了非常廣泛的應用,替代了油封機械泵以及滑閥真空泵。由于其性能而越來越廣泛的應用于航天、核工業(yè)、化工、制藥、環(huán)保等行業(yè),并呈逐年上升的趨勢。其主要的結(jié)構(gòu)型式有螺旋型和反爪式,其結(jié)構(gòu)各有優(yōu)勢,相比較而言反爪式比螺旋型優(yōu)勢更明顯。但由于其結(jié)構(gòu)限制,泵的抽速目前基本上只做到小于600 M 3小,不能夠滿足化工和制藥等大抽速的需要。