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多功能快速退火爐

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更新時間：2022-08-25 14:22:51瀏覽次數(shù)：311次

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北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責任公司

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所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：于磊（銷售部經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

快速熱處理退火爐簡稱RTP(RapidThermalProcessingFurnace)，由我公司借鑒了制造工藝，在管式爐的基礎(chǔ)上自主研發(fā)而成。這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S，而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍，降溫速率100℃/S?！　?yīng)用領(lǐng)域　　?快速熱退火(RTA);離子注入后退火　　?石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長　　?快速熱氧化(,RTO);熱氮化(RTN);　　?硅化(S

詳細介紹

　　快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace)，由我公司借鑒了制造工藝，在管式爐的基礎(chǔ)上自主研發(fā)而成。這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S，而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍，降溫速率100℃/S。

　　應(yīng)用領(lǐng)域

　　? 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

　　? 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長

　　? 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

　　? 硅化 (Silicidation);

　　? 擴散 (Diffusion);

　　? 離子注入后退火 (Implant Annealing);

　　? 電極合金化 (Contact Alloying);

　　? 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);

　　主要特點

　　? 極速升溫100℃/S，極速降溫100℃/S;

　　? 雙層爐管結(jié)構(gòu)，氣氛與樣品接觸更均勻;

　　? 樣品實際溫度數(shù)據(jù)可通過手機APP導出excel表格(選配);

　　技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	RTP快速升溫爐
產(chǎn)品型號	RTP1100
額定溫度	1100℃
溫場均勻性	±2℃
爐膛升溫速率	≥100℃/S
降溫速率	≥100℃/S
操控系統(tǒng)	智能AIO操作系統(tǒng)
操作界面	7英寸觸摸屏
加熱方式	短波紅外線加熱
加熱腔體結(jié)構(gòu)	雙層石英管
外管直徑	100mm
內(nèi)管直徑	80mm
氣體保護方式	外管進氣，內(nèi)管出氣
超溫保護	溫度出現(xiàn)過高時切斷主回路
式樣有效空間	70*100mm
真空系統(tǒng)	8L/S雙級聯(lián)真空系統(tǒng)（選配）
整機真空度	3Pa
真空啟動方式	根據(jù)程序設(shè)置自動啟停
抽氣端口尺寸	KF16
供氣口尺寸	1/4英寸雙卡套
法蘭冷卻方式	水冷（短時間無需水冷）（可選配水冷機）
真空顯示	真空壓力表（可選配數(shù)顯真空計）
上位機操控	基于安卓系統(tǒng)APP（選配）
數(shù)據(jù)導出方式	APP導出Excel表格（選配）
額定功率	12kw
外形尺寸	950500560mm
重量	50kg
配件	管堵2支，法蘭水冷套1支，耐溫手套1雙，坩堝鉗1把，說明書1本。