超純水處理系統(tǒng)是指從普通自來(lái)水至超純水制備的完整生產(chǎn)系統(tǒng)，包括預(yù)處理系統(tǒng)、RO系統(tǒng)、制成系統(tǒng)和拋光系統(tǒng)四個(gè)子系統(tǒng)。在TFT-LCD生產(chǎn)中，整個(gè)生產(chǎn)工藝流程復(fù)雜，需要檢測(cè)和控制的信號(hào)繁多，再加上系統(tǒng)對(duì)穩(wěn)定性、可靠性的高要求，因此需要采用現(xiàn)代化自動(dòng)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)超純水系統(tǒng)控制。純水設(shè)備設(shè)計(jì)一整套基于西門(mén)子PLC的超純水處理控制系統(tǒng)，通過(guò)集成PLC冗余技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、現(xiàn)場(chǎng)總線、組態(tài)軟件等技術(shù)，滿足超純水自動(dòng)化系統(tǒng)對(duì)穩(wěn)定性、可靠性、便于監(jiān)控性等的全面系統(tǒng)控制要求。國(guó)內(nèi)外超純水控制系統(tǒng)的發(fā)展概況超純水最初為美國(guó)科技界因研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)提出了超純水的生產(chǎn)。早期超純水的求主要來(lái)自于發(fā)電、醫(yī)藥、化工、造紙等行業(yè)，水質(zhì)要求相對(duì)較低，其制備主要采用離子交換系統(tǒng)。
隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，純水設(shè)備對(duì)超純水質(zhì)量要求不斷提高，超純水的定義也發(fā)生了迅速的變化。純水的離子泄漏量要求為5ppb(微克/升)，七十年代中期已提高到1ppb，進(jìn)入八十年代后，這個(gè)目標(biāo)已向0.1ppb邁進(jìn)。到九十年代，膜技術(shù)得到廣泛應(yīng)用，微濾、超濾、電滲析和反滲透RO等的水處理技術(shù)得到長(zhǎng)足發(fā)展，RO-混床系統(tǒng)取代了傳統(tǒng)的離子交換系統(tǒng)，滿足了諸如TFT-LCD等行業(yè)對(duì)純水質(zhì)量要求，從而大大推動(dòng)了純水技術(shù)的發(fā)展。在七八十年代，不論是離子交換法還是反滲透法的超純水處理，其控制系統(tǒng)主要采用DCS(DistributedControlSyestem)分散控制系統(tǒng)。DCS系統(tǒng)需要第三方儀表或控制系統(tǒng)按其專用協(xié)議與DCS通訊，開(kāi)放性差。90年代后，隨著PLC控制功能增強(qiáng)，功耗和體積減小，成本下降，可靠性的提高，且其編程和故障檢測(cè)也更為靈活方便。而且隨著分布式I/O和現(xiàn)場(chǎng)總線通信網(wǎng)絡(luò)的發(fā)展，PLC數(shù)據(jù)處理能力的發(fā)展，使PLC成為工業(yè)生產(chǎn)自動(dòng)化產(chǎn)業(yè)的一大支柱。超純水處理控制系統(tǒng)也逐漸從DCS控制系統(tǒng)過(guò)渡到采用PLC的現(xiàn)場(chǎng)總線控制系統(tǒng)。
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