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河北澤葉科技有限公司
免費(fèi)會(huì)員9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià): | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號(hào)
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訪問次數(shù)：248更新時(shí)間：2022-07-15 10:49:29
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產(chǎn)品簡介
型號(hào) 9861，布魯克斯儀器 9861 系列高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和儀表專為在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設(shè)計(jì)，該產(chǎn)品采用高純度、無泄漏一體化金屬流路，可確保兼容所有過程氣體和蒸汽。
產(chǎn)品介紹
9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器
獲得 IsoSensor™ 是一種穩(wěn)定性*的流量傳感器，可兼容加熱氣體管線和烘干系統(tǒng)中苛刻的環(huán)境溫度。IsoSensor™ 傳感器的超低漂移性能可使高溫應(yīng)用無需頻繁重新調(diào)零和重新校準(zhǔn)。
9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器
| 9861 | |
| 流量范圍-滿量程容量 | 3 sccm – 10 slm (N2 equivalent) |
| 表面拋光 | 4µ inch Ra |
| 精度 | ±1% SP @ 35 – 100% FS
±0.35% FS @ <35% FS |
| 重復(fù)性 | < ±0.15% FS |
| 響應(yīng)時(shí)間-常閉 | ≤ 1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
|
| 模擬通訊 | 0-5 Vdc |
| 數(shù)字通訊 | RS485L Protocol |
9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器
特點(diǎn)
- 超穩(wěn)定的 IsoSensor™ 流量測(cè)量傳感器
- 高純度流路
- 遠(yuǎn)程控制電子元件（標(biāo)配兩個(gè)模擬電子連接器）
- 數(shù)字測(cè)量和控制架構(gòu)
優(yōu)勢(shì)
- 傳感器穩(wěn)定性高，可保障超長運(yùn)行時(shí)間、減少維護(hù)工作并降低總體擁有成本
- 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
- 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D”連接器，可實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化并減少庫存
- 強(qiáng)化準(zhǔn)確性和過程控制
應(yīng)用
- 光纖制造 – MCVD
- 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝
9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器
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