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鼓風機振動傳感校準器,采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。 硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設計成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片定域擴散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應力區(qū),另兩條處于拉應力區(qū),相對于膜片中心對稱。 此外,也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條,兩條受拉應力的電阻條與另兩條受壓應力的電阻條構(gòu)成全橋。
特點
l 可校準多種類型的振動傳感器,如壓電式加速度傳感器、磁電式速度傳感器及電渦流式傳感器。
l 可對由上述傳感器所組成的各種振動測試儀表、振動監(jiān)視系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集器及振動狀態(tài)分析系統(tǒng)進行校準。
l 校準儀內(nèi)部可產(chǎn)生10、20、40、80、160、320、640及1280Hz等八種頻率的正弦信號。
l 所輸出的加速度、速度及位移三種振動信號的幅值可通過電位器改變,并有數(shù)字顯示。
l 可垂直、水平兩個方向使用,以校準垂直、水平傳感器。
l 有交流供電和交流-直流供電兩種形式供用戶選擇。
l 體積小、精度高、操作簡單、使用方便,可在現(xiàn)場和實驗室使用。
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