　　考慮前面圖6中所示的ICP®傳感器。雖然傳感元件在各種類型(和范圍)的壓力，力和加速度傳感器的物理配置上會有很大差異，但基本操作理論對所有人來說都是相似的。當(dāng)感應(yīng)元件在t = t時由階躍函數(shù)被測量(壓力，力或加速度)作用時，產(chǎn)生與該機(jī)械輸入成線性比例的電荷量Δq。

　　在石英ICP®傳感器中，此電荷累積在總電容Ctotal中，其中包括傳感元件的電容，放大器輸入電容，測距電容和任何額外的雜散電容。(注意：測量電容器與電阻器并聯(lián)，用于降低電壓靈敏度，但未顯示。)結(jié)果是根據(jù)靜電定律的電壓：ΔV=Δq/ Ctotal。然后通過MOSFET電壓放大器放大該電壓，以確定傳感器的***終靈敏度。根據(jù)該等式，電容越小，電壓靈敏度越大。雖然這是真的，但是存在一個實際限制，其中較低的電容不會顯著增加信噪比。

　　在陶瓷ICP®傳感器中，晶體電荷通常由集成電荷放大器直接使用。在這種情況下，只有反饋電容(位于放大器的輸入和輸出之間)決定了電壓輸出，從而決定了傳感器的靈敏度。

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ICP加速度傳感器采集低頻信號工作原理

傳感器放電時間常數(shù)

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