低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的 放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱(chēng)為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會(huì)產(chǎn)生等離子，而這種放電現(xiàn)像就是通過(guò)某種機(jī)制使一個(gè)或者多個(gè)電子從氣體原理或分子 中分離出來(lái)，形成氣體媒質(zhì)，這種媒質(zhì)就稱(chēng)為電離氣體，如果外電場(chǎng)產(chǎn)生了電離氣體，傳導(dǎo)電流就形成了，這種現(xiàn)象就被稱(chēng)為氣體放電。而這種技術(shù)，就是工業(yè)廢氣處理的一種原理。
一般在常壓下進(jìn)行氣體污染物的管理，而能在常壓下產(chǎn)生的等離子體只有電暈放電和介質(zhì)陰擋放電兩種形式 。跟據(jù)氣體系能量狀態(tài)，溫度和離子密度，等離子體通?？煞譃楦邷氐入x子體和低溫等離子體(包括熱等離 子體和冷等離子體)，其中低溫等離子體的電離度接近1，各種粒子的溫度幾呼相同，并且體系處于熱力學(xué)平衡狀態(tài)，它主要應(yīng)用在受控?zé)岷朔磻?yīng)方面的研究。而這種技術(shù)，就是工業(yè)廢氣處理的一種原理。也就是說(shuō)等離子廢氣處理就是處于電離狀態(tài)下的氣體，等離子體由大量的電子、離子、中性原子、激發(fā)態(tài)原子、光子和自由基等組成。一般氣體放電產(chǎn)生等離子體屬于低溫等離子體。另外也可以對(duì)低濃度、高流速、大風(fēng)量的含揮發(fā)性有機(jī)污染物和含硫類(lèi)污染物進(jìn)行處理。常壓下，氣體放電產(chǎn)生的高度非平衡等離子體中電子溫度(數(shù)萬(wàn)攝氏度)遠(yuǎn)高于氣體溫度(100攝氏度)，在非平衡等離子體中可能發(fā)生各種類(lèi)型的化學(xué)反應(yīng) ，主要決定于電子的均勻能量、電子密度、氣體溫度、有害氣體分子濃度和共存的其它氣體成份。但電子和正離子的電荷數(shù)必需相等，整體表現(xiàn)出電中性，這就是等離子的含義，等離子具有導(dǎo)電和受電磁影響的性質(zhì) ，在很多方面與固體、液體和氣體不同，因此又有人把它稱(chēng)為物質(zhì)的第四狀態(tài)。在等離子廢氣處理設(shè)備處于 熱力學(xué)非平衡狀態(tài)，各種粒子的狀態(tài)并不相同，其中電子的溫度(T)小于離子的溫度，電子的溫度達(dá)到 104K以上，離子的溫度可低到300-500K。而這種技術(shù)，就是工業(yè)廢氣處理的一種原理。在這一過(guò)程中高能電子起決定性作用，離子的熱運(yùn)動(dòng)作用。
DBD等離子體反應(yīng)區(qū)富含*的物質(zhì)，如高能電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質(zhì)可與這些具有較高能量的物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，使污染物質(zhì)在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到講解污染物的目的。與傳統(tǒng)的電暈放電形勢(shì)產(chǎn)生的低溫等離子技術(shù)相比較，DBD等離子體技術(shù)放電量是電暈放電的50倍，放電密度是電暈放電的130倍。所以,傳統(tǒng)低溫等離子體技術(shù)只能用于室內(nèi)空氣異味治理,與其他低溫等離子體技術(shù)相比較，DBD等離子體技術(shù)是*用于工業(yè)化工藝廢氣治理的技術(shù)。
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