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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司


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雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)-循環(huán)手套箱

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)OTF-1200X-PESDSF-50

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地

聯(lián)系方式:徐鰲查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù):179次

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經(jīng)營模式:

商鋪產(chǎn)品:1313條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:徐鰲 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng),連接循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與循環(huán)手套箱連接,可利用CVD方法,將樣品處理后直接移入到氣氛保護(hù)環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動(dòng)式,可在實(shí)驗(yàn)室中對(duì)樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn):

真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接;

兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上,可通過爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果!

加熱爐參數(shù):

連續(xù)工作溫度:1100℃

兩個(gè)爐體都可設(shè)置30段升降溫程序

高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命)

電源:AC220,50Hz   功率:3KW

 

手套箱參數(shù):

帶有除水系統(tǒng):保持水含量< 2 ppm

真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接

射頻電源:

 

image.png 

真空系統(tǒng):

•·采用TRP-12的雙旋真空泵;

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

真空度可達(dá)10-2Torr。

供氣系統(tǒng)(可選):

客戶可選購四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

流量范圍:

image.png 

電壓:208-240VAC, 50/60Hz

氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

• PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

 

 

產(chǎn)品尺寸:

爐體尺寸:1600mm(L) -430mm(W)-500mm(H)

手套箱尺寸:780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)

質(zhì)保:

一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件



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