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上海添時科學(xué)儀器有限公司


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中小式（12片，6英寸基片）PECVD系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號PECVD-8-16

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地

聯(lián)系方式：徐鰲查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù)：196次

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經(jīng)營模式：

商鋪產(chǎn)品：1313條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：徐鰲 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

PECVD-8-16是一款平行板電容式PECVD系統(tǒng)，適用于中小式生產(chǎn)和實驗，可放置12片6英寸基片。此系統(tǒng)組成：8英寸石英管管式爐，溫度為1100℃，一個批量型石墨舟（可放12片基片），1000W射頻電源，和一個4通道混氣系統(tǒng)。此設(shè)備特別適用于太陽能電池和二維材料，擴產(chǎn)前測試實驗。

詳細(xì)介紹

爐體結(jié)構(gòu)：

•高純氧化鋁纖維作為爐膛材料

•采用三可加熱區(qū)，可達到600mm長的恒溫區(qū)

•外徑304mm.內(nèi)徑203mm的石英管,帶有不銹鋼密封法蘭

•一個電動滑軌，上面裝載石墨舟和樣品

•高純石墨舟，可轉(zhuǎn)載12片圓片或方形片，尺寸可達6英寸

• 1000W RF（13.5MHz）等離子電源

• 4通道混氣系統(tǒng)

•可選購真空泵（油泵或無油泵）

電源要求：

•208-240VAC，單相，50/60Hz

• 9KW

石英管，法蘭

•外徑304mm×內(nèi)徑203mm×長度1300mm

•設(shè)備包含一根石英管，可購買備用石英管

•配有SS304不銹鋼法蘭，帶有KF40真空接口&閥門和進氣口&出氣口

•安裝有一套雙滑軌，直流電機驅(qū)動法蘭和樣品舟移動進出石英管

 

石墨舟：

•石墨舟采用高純石墨（產(chǎn)自日本）制作，帶有RF電極

•12個插槽（4×3）可裝載樣品尺寸6英寸×6英寸×0.5mm厚度或直徑6英寸圓片

•客戶可定制石墨舟（4×4或5×4）

 

管式爐:

•加熱元件：NiCrAl合金絲

•加熱區(qū)：3個加熱區(qū)（300mm十300mm十300mm）

•恒溫區(qū)：600mm(+/- 2°C, 3個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度)

•工作溫度：400-1100℃

•加熱冷卻速率：10℃/min

退溫系統(tǒng)：

•3塊3000型歐陸（Eurotherm）儀表，可設(shè)置24段升降溫段

•3根K型熱電偶

•控溫精度：+/- 0.1°c

•包含軟件和PC界面模塊

射頻等離子電源：

•輸出功率：20-1000W（可調(diào)節(jié)，穩(wěn)定性± 1%）

• RF頻率：13.56MHz

•匹配方式：自動匹配

•冷卻：空氣冷卻

•噪音：<50dB

•輸入電源：110-240VAC，50/60Hz

供氣系統(tǒng)：

•4個質(zhì)量流量計安裝在一個移動架內(nèi)，控制精度：±1.5%FS，重復(fù)精度:±0.2%FS

•控制1： 0~100SCCM

•控制2： 1~199SCCM

•控制3： 1~199SCCM

•控制4： 1~499SCCM

•觸摸屏控制，設(shè)置各種參數(shù)

•安裝有RS485接口，用于通過PC遠程控制

•每個工位的流量控制范圍可按客戶要求定制

真空泵，真空計：

•一個防腐型數(shù)顯真空計，測試范圍可達到10-5torr

•設(shè)備使用需要真空泵，可在本公司選購各種真空泵

凈重:

500kg

質(zhì)保：

一年保質(zhì)期，針對電器和機械部分，不包括加熱元件，石英管，密封圈



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