高真空蒸發(fā)鍍膜儀--GSL-1800X-ZF4

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更新時間：2022-05-03 10:22:19瀏覽次數(shù)：241次

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上海添時科學儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍一些對氧較敏感的金屬膜，如Ti, Al 和Au等，也可蒸鍍各種氧化物材料。此款蒸鍍儀安裝有4個蒸鍍加熱頭.對于實驗研究，這是一款鍍膜效果理想并且性價比較高的實驗設備。

詳細介紹

技術參數(shù)

電壓	輸入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相 ( < 3200W ) 輸出： 0 - 8VAC （可調）大電流： 400A （可調）大功率：4000W（包括真空泵）
真空腔體	不銹鋼腔體：280mm ID. x 375 mm H，腔體內(nèi)壁做了電拋光處理有一個150mm的觀察窗口（采用無氧銅密封圈密封）一個RF-150法蘭，便于放入樣品。一個KF-40法蘭,可與真空泵相連接四個CF-35法蘭，便于安裝真空計、電極和其他用途備用
真空泵	儀器中包括一臺高抽速的渦輪分子泵和前級泵前級泵抽速：600L/S 真空度：5.0x10-6 torr（泵開啟后40分鐘）極限真空度：5.0x10-7 torr（烘烤溫度為60-80℃）漏氣率：5.0x10-7Pa./S
蒸發(fā)加熱源樣品臺	5個水冷電極安裝在腔體底部，可支持4個鎢加熱舟每個鎢舟上面安裝有可移動的擋板，所以實驗時可以防止各物料之間的污染，樣品臺安裝在真空腔體頂部，直徑為150mm 樣品臺可以旋轉和加熱，旋轉速度0-20rpm，加熱高溫度600℃ 蒸發(fā)源與樣品臺的距離為250mm
測厚儀	一個高分辨度的薄膜測厚儀安裝在腔體內(nèi)部測量精度為：1.0Å
循環(huán)水冷機	儀器使用過程中需要通冷卻水，為了節(jié)約用水，強烈建議使用循環(huán)水冷機所需水流量>15L/min
控制單元	真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個控制盒內(nèi) 控制單元和真空腔體獨立分開，以便于操作
外形尺寸	L600mm× W860mm× H1500mm
凈重	600kg
質保	一年質保期，終生維護
質量認證	CE認證