選用真空泵時,須要留神下列須知:
1、真空泵的作業(yè)壓強無須滿足真空設(shè)施的極限真空及作業(yè)壓強務(wù)求。如:真空鍍膜務(wù)求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至多要5×10-6mmHg。通常取舍泵的真空度要高于真空設(shè)施真空度半個到一個單位級。
2、錯誤地取舍真空泵的作業(yè)點。每種泵都有定然的作業(yè)壓強規(guī)模,如:放散泵為10-3~10-7mmHg,在那樣寬壓強規(guī)模內(nèi),泵的抽速隨壓強而變遷,其穩(wěn)固的作業(yè)壓強規(guī)模為5×10-4~5×10-6mmHg。因此,泵的作業(yè)點無須選在某個規(guī)模之內(nèi),而使不得讓它在10-8mmHg下長期作業(yè)。又如鈦升華泵能夠在10-2mmHg下作業(yè),但其作業(yè)壓強應(yīng)小于1×10-5mmHg為好。
3、真空泵在其作業(yè)壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)施工藝內(nèi)中中產(chǎn)生的全副氣體量。
4、錯誤地組合真空泵。因為真空泵有取舍性抽氣,因此,有時選用一種泵使不得滿足抽氣務(wù)求,須要多少種泵組合起來,相互補充能力滿足抽氣務(wù)求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但使不得抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱負極濺射離子泵)對氬有定然的抽速,兩者組合起來,便會使真空安裝失去較好的真空度。另外,有的真空泵使不得在大氣壓下作業(yè),須要預(yù)真空;有的真空泵入口壓強低于大氣壓,須要前級泵,舊都須要把泵組合起來運用。
5、真空設(shè)施對油凈化的務(wù)求。若設(shè)施寬大務(wù)求無油時,無須選各族無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、高溫泵等。那末務(wù)求不寬大,能夠取舍有油泵,加上一些防油凈化措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達成骯臟真空務(wù)求。
6、理解被抽氣體成份,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒污垢,有無侵蝕性等。取舍真空泵時,須要曉得氣體成份,對準被抽氣體取舍相應(yīng)的泵。那末氣體中含有蒸氣、顆粒、及侵蝕性氣體,無須思忖在泵的進氣口管路上衣置輔助設(shè)施,如冷凝器、除塵器等。
7、真空泵排進去的油蒸氣對條件的莫須有如何。那末條件不容許有凈化,能夠選無油真空泵,或者把油蒸氣排到露天。
8、真空泵作業(yè)時產(chǎn)生的振動對工藝內(nèi)中及條件有無莫須有。若工藝內(nèi)中不容許,應(yīng)取舍無振動的泵或者采取防振動措施。
9、真空泵的價錢、運行及培修用度。