當(dāng)前位置：海博爾凈化工程有限公司>>>>電子無(wú)塵車間，多晶硅潔凈車間

電子無(wú)塵車間，多晶硅潔凈車間

返回列表頁(yè)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)工程商

所在地鄭州市

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：周先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2019-04-19 13:47:54瀏覽次數(shù)：530次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  醫(yī)藥食品實(shí)驗(yàn)室無(wú)菌室

無(wú)菌室
  凈化工程

凈化工程地板方案

  其他品牌
  通馳
  梓凈

海博爾凈化工程有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：工程商

商鋪產(chǎn)品：100條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：周先生（經(jīng)理）

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	凈化級(jí)別	萬(wàn)級(jí)

無(wú)塵車間，電子無(wú)塵車間，多晶硅無(wú)塵車間

詳細(xì)介紹

潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過(guò)25度，濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。

海博爾專注凈化三十年，為你提供專業(yè)服務(wù)?。?！