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CYBER TECHNOLOGIES輪廓儀CT300

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹快速，精確，準(zhǔn)確地測(cè)量小樣本和大樣本315毫米x315毫米大掃描區(qū)域用戶友好的概念復(fù)雜的分析和自動(dòng)化軟件CT300是一種非接觸輪廓儀，具有315mm的x，y運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

快速，精確，準(zhǔn)確地測(cè)量小樣本和大樣本

315毫米x 315毫米大掃描區(qū)域

用戶友好的概念

復(fù)雜的分析和自動(dòng)化軟件

CT 300是一種非接觸輪廓儀，具有315 mm的x，y運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。它可以處理12英寸的晶圓或其他大型基板和零件。使用彩色白光傳感器和高達(dá)20 kHz的數(shù)據(jù)采集速率，可以將檢查時(shí)間減至最少。共聚焦顯微鏡和3D白光干涉儀傳感器在低至0.1 nm的z方向上提供了的分辨率。利用多傳感器技術(shù)，可以同時(shí)安裝多個(gè)傳感器頭，包括用于測(cè)量晶圓厚度的紅外干涉儀。

典型的應(yīng)用是印刷過(guò)程的分析和質(zhì)量控制，例如PV太陽(yáng)能電池，基板材料的進(jìn)料檢查，各種基板上的厚膜測(cè)量，漿料倉(cāng)庫(kù)，環(huán)氧膜，點(diǎn)或其他印刷和印刷的體積測(cè)量。分配的功能。高輪廓物體的幾何形狀和位置測(cè)量（如焊料凸塊，微透鏡和MEMS器件）以及平面度和共面性分析是其他受歡迎的應(yīng)用。由于CT 300在整個(gè)行程中保持高精度，因此可以快速而精確地檢查較大的零件，例如晶片，墊片或玻璃鏡片。

產(chǎn)品參數(shù)

系統(tǒng)控制器：包括運(yùn)動(dòng)控制，傳感器控制器（2 kHz），電源，工作站的USB接口

工作站電腦：查詢當(dāng)前規(guī)格，22英寸寬屏顯示器

連接：以太網(wǎng)，DVD驅(qū)動(dòng)器，USB（正面和背面），并行端口，鍵盤，鼠標(biāo)，DVI和模擬視頻輸出

電源要求：100-240V AC，50-60 Hz，2安培（240 V），5安培（100 V）

工作溫度：20°-30°C（68–86 F）

測(cè)量表面尺寸：400 x 400 [mm]（16 x 16 [in]）

線性編碼器分辨率：0.05μm（2μin）

橫向分辨率：min.1微米

X和Y的行程限制（電動(dòng)）：315 x 315 [mm]（12 x 12 [in]）

Z的行程限制（手動(dòng)）：50 mm（2in）（可調(diào)節(jié)至100 mm）

機(jī)動(dòng)化的Z軸行程：100 mm，分辨率0.1 µm