近年來，為了開發(fā)更加有效和低成本的廢氣凈化方法，研究人員進行了大量的研究。研究發(fā)現(xiàn)，等離子體是除固體、液體、氣體之外的第四種物質存在形態(tài)。20世紀80年代以來利用低溫等離子體廢氣處理設備治理環(huán)境污染成為國內外的研究熱點，被譽為前景很好的廢氣治理技術之一。

  單純的等離子體處理廢氣存在許多缺點，例如會產(chǎn)生一氧化碳、臭氧、氣溶膠顆粒等副產(chǎn)物，廢氣分解不*，二次污染物多，而且去除效率低、能耗高，不適合工業(yè)應用。
  研究表明等離子體不僅能夠代替紫外光作為光催化劑的驅動源，而且能夠克服紫外光催化存在的許多缺點。而在低溫等離子體中加入光催化劑能夠提高污染物的去除效率，大大降低能耗和副產(chǎn)物的產(chǎn)生。

  低溫等離子體廢氣處理設備集成了低溫等離子體和光催化的優(yōu)勢，兩者相互協(xié)同，優(yōu)勢互補，而且充分利用了等離子體場中產(chǎn)生的紫外光，是一種非常高效、節(jié)能的降解有機廢氣的方法。

  低溫等離子體在降解過程中主要有以下幾個步驟：

  (1)高能電子的作用下產(chǎn)生氧化性*的自由基O、OH、HO2;

  (2)有機物分子受到高能電子碰撞，被激發(fā)及原子鍵斷裂形成小碎片基團或原子

  (3)O、OH、HO2與激發(fā)原子有機物分子、破碎的分子基團、自由基等一系列自由基反應。

  等離子體中的離子、電子、激發(fā)態(tài)原子、分子及自由基都是極活潑的反應性物種，使通常條件下難以進行或速度很慢的反應變得快速，它們再進一步與污染物分子、離子反應，從而使污染物得到降解，尤其有利于難降解污染物的處理。另外，由于活性離子和自由基氣體放電時一些高能激發(fā)粒子向下躍遷能產(chǎn)生紫外光線，當光子或電子的能量大于半導體禁帶寬度時，就會激發(fā)半導體內的電子，使電子從價帶躍遷至導帶，形成具有很強活性的電子空穴對，并進一步誘導一系列氧化還原反應的進行。