CS300型質(zhì)量流量控制器(CS300 MASS FLOW CONTROLLER) 返回列表頁(yè)

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產(chǎn)品型號(hào)CS300型

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更新時(shí)間：2022-08-02 13:45:54瀏覽次數(shù)：1182次

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CS300型質(zhì)量流量控制器(CS300 MASS FLOW CONTROLLER)

類號(hào)	CS310C		CS320C
閥類型	Normally Closed or Normally Open	No Valve	Normally Closed or Normally Open	No Valve
流量規(guī)格(N₂)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準(zhǔn)確度	±1% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.)		±0.80% S.P. (≥30% F.S.) ±0.24% F.S. (＜30% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤ 0.8sec (≤ 0.5sec optional)
工作壓差范圍	(0.05～0.35)Mpa(≤10SLM) (0.1～0.35)MPa (＞10SLM)	＜0.02 MPa	(0.05～0.35)Mpa(≤10SLM) (0.1～0.35)MPa (＞10SLM)	＜0.02 MPa
溫度系數(shù)	Zero: ≤±0.02% F.S./℃； Span: ≤±0.05% F.S./℃
耐壓	3MPa
漏率	1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	Metal
工作環(huán)境溫度	(0～50)℃
輸入信號(hào)	Digital:RS485 Or DeviceNet Analog:(0 ～5)VDC	No	Digital:RS485 Or DeviceNet Analog:(0～5)VDC	No
輸出信號(hào)	Digital:RS485 Or DeviceNet Analog:(0～5)VDC
零漂	＜0.6%F.S. per year without autozero
電源	±11～±16 VDC (雙極) 或 +11～+28 VDC (單極)
表面化學(xué)成分	Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms
表面粗糙度	Ra 5μinch
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	VCR1/4陽(yáng)接頭； 1.125″C型密封接頭 1.125″W型密封接頭		1.5″B型密封接頭 1.5″C型密封接頭 1.5″W型密封接頭
電源接頭形式	D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet male
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg