類號

CS310C

CS320C

閥類型

Normally Closed or Normally Open

No Valve

Normally Closed or Normally Open

No Valve

流量規(guī)格(N₂)

(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM

(0～1,2,3,5,10,20,30)                  SLM

準確度

±1% S.P. (≥35% F.S.)

±0.35% F.S. (＜35% F.S.)

±0.80% S.P. (≥30% F.S.)

±0.24% F.S. (＜30% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2% F.S.

響應時間

≤ 0.8sec            (≤ 0.5sec  optional)

工作壓差范圍

(0.05～0.35)Mpa(≤10SLM)

(0.1～0.35)MPa (＞10SLM)

＜0.02 MPa

(0.05～0.35)Mpa(≤10SLM)

(0.1～0.35)MPa (＞10SLM)

＜0.02 MPa

溫度系數(shù)

Zero: ≤±0.02% F.S./℃； Span: ≤±0.05% F.S./℃

耐壓

3MPa

漏率

1×10^-11 Pa·m³ / sec He

密封材料

Metal

工作環(huán)境溫度

(0～50)℃

輸入信號

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:(0～5)VDC

No

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:(0～5)VDC

No

輸出信號

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:(0～5)VDC

零漂

＜0.6%F.S. per year without autozero

電源

±11～±16 VDC (雙極) 或 +11～+28 VDC (單極)

表面化學成分

Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms

表面粗糙度

Ra  5μinch

標準接頭形式

VCR1/4陽接頭；

1.125″C型密封接頭

1.125″W型密封接頭

1.5″B型密封接頭

1.5″C型密封接頭

1.5″W型密封接頭

電源接頭形式

D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet male

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg