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臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間:2022-03-24 11:19:53瀏覽次數(shù):280次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:106條

所在地區(qū):湖南長(zhǎng)沙市

聯(lián)系人:頂立 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)主要用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理

詳細(xì)介紹

臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)技術(shù)特征

電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;

采用智能壓力調(diào)控,壓力波動(dòng)??;

全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

多通道工藝氣路,流程均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;

多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,能高效收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;

可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng),降溫時(shí)間短,生產(chǎn)效率高;

臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)/型號(hào)HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-152023-CHCVD-252035-C
工作區(qū)尺寸
W×H×L(mm)
600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30001500×2000×23002500×2000×3500
溫度(℃)150015001500150015001500
溫度均勻性(℃)±7.5±7.5±10±10±10±10
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇

結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開(kāi)門/門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì):全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

加熱器、馬弗:石墨/CFC/金屬

熱電偶:K/N/C/S分度號(hào)

電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)

關(guān)鍵詞:加熱器 熱電偶
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