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超高溫硼化物沉積爐

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間:2022-03-24 11:25:44瀏覽次數(shù):219次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:106條

所在地區(qū):湖南長(zhǎng)沙市

聯(lián)系人:頂立 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

超高溫硼化物沉積爐主要用于碳碳復(fù)合材料及其它新型炭材料等超高溫陶瓷化處理

詳細(xì)介紹

超高溫硼化物沉積爐技術(shù)特征

采用*的控制技術(shù),能精密控制H2、C3H6的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動(dòng)??;

全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

多通道工藝氣路,流場(chǎng)均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;

多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;

可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組,持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),維修率低;

適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2

超高溫硼化物沉積爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)/型號(hào)HCVD-101015-ZrCHCVD-152023-ZrCVCVD-0608-ZrCVCVD-0812-ZrCVCVD-1120-ZrCVCVD-1218-ZrCVCVD-1520-ZrC
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800800×12001100×20001200×18001500×2000
溫度(℃)2000200020002000200020002000
溫度均勻性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

超高溫硼化物沉積爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC

熱電偶:C/S分度號(hào)

紅外儀:?jiǎn)伪壬?雙比色

真空泵:機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組

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