上海伯東銷售維修德國(guó) Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA. 四極桿質(zhì)譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的搭配, 質(zhì)量數(shù)范圍 1-300, 高分辨率和靈敏度. 適用于殘余氣體分析, 過程監(jiān)測(cè), 泄漏檢測(cè).上海伯東殘余氣體分析儀 Hicube RGA

詳細(xì)介紹

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殘余氣體分析儀 Hicube RGA
上海伯東銷售維修德國(guó) Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA. 四極桿質(zhì)譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的搭配, 質(zhì)量數(shù)范圍 1-300, 高分辨率和靈敏度. 適用于殘余氣體分析, 過程監(jiān)測(cè), 泄漏檢測(cè).

殘余氣體分析儀 Hicube RGA 優(yōu)勢(shì)
殘余氣體分析和氦氣泄漏檢測(cè)模式
可用于從大氣壓至高真空環(huán)境
高分辨率和靈敏度
通過真空壓力監(jiān)測(cè)保護(hù)燈絲
進(jìn)氣系統(tǒng)帶集成式切斷閥

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 Hicube RGA 技術(shù)規(guī)格

渦輪分子泵組	HiCube™ Eco
功耗	170W
電壓（范圍）	110 - 240 V; 50 / 60 Hz
氮?dú)獬樗?/p>	67 l/s
前級(jí)泵在 50 Hz 時(shí)的泵送速度	1 m3/h
極限真空	<1X10-7 hPa
真空計(jì)	PKR 361
測(cè)量范圍	1X10-9 至 1X103 hPa
閥門	EVN 116
氣體流量	可調(diào)整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s
進(jìn)氣口	DN 16 ISO-KF

PrismaPro	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1	QMG 250 M2	QMG 250 M3
檢測(cè)器	法拉第 Faraday (F)			電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
質(zhì)量數(shù) amu	1–100	1–200	1–300	1–100	1–200	1–300
四極桿直徑／長(zhǎng)度	6 /125 mm
最小檢測(cè)極限 F hPa *1,2	4X10-13	5X10-13	7X10-13	-	-	-
最小檢測(cè)極限 M hPa *1,2	-	-	-	3X10-15	4X10-15	5X10-15
對(duì)Ar的靈敏度 F A/hPa*3	5X10-4	4X10-4	3X10-4	5X10-4	4X10-4	3X10-4
工作壓力 F hPa	5X10-4
工作壓力 M hPa	-	-	-	5X10-5	5X10-5	5X10-5
對(duì)臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm
操作溫度分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作溫度電子	5 – 50 °C
烘烤溫度分析	300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
保壓時(shí)間	1 ms – 16 s/amu
峰比值可重復(fù)性	± 0.5 %
接口	以太網(wǎng)
電源電壓	100–240 V AC，50/60 Hz
HiCube™ RGA重量	25.5 - 26.2 kg

殘余氣體分析儀 Hicube RGA 典型應(yīng)用
殘余氣體分析: 對(duì)真空系統(tǒng)中殘余氣體的分析, 可以獲知在達(dá)到所需的最終壓力或調(diào)節(jié)要求時(shí), 殘余物質(zhì)的組成. 由此可以得出各種有關(guān)系統(tǒng)表面性質(zhì), 脫附行為, 純度和密封性以及工藝氣體成分的結(jié)論. 這將為您提供有關(guān)真空室或真空組件狀態(tài)的重要信息.

泄漏檢測(cè): 上海伯東 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 具有氦氣泄漏檢測(cè)模式, 可以通過軟件控制激活. 此功能可以方便您發(fā)現(xiàn)真空系統(tǒng)中的任何泄漏.

過程監(jiān)控: HiCube RGA 可以在 300u 的測(cè)量范圍內(nèi)隨時(shí)間觀察任意數(shù)量的選定質(zhì)量強(qiáng)度, 并可對(duì)選定的各質(zhì)量分配警報(bào)循環(huán)閾值. 如果它們高于或低于所需極限, 則可以通過數(shù)字輸出將信號(hào)提供給更高級(jí)別的控制系統(tǒng). 因此殘余氣體分析儀 HiCube RGA 能夠提供實(shí)時(shí)過程觀察和控制功能. EVN 116 氣體計(jì)量閥還可以使真空系統(tǒng)中的壓力適應(yīng)相應(yīng)過程需求, 此外, 集成式切斷閥還允許對(duì)泄漏設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速開/關(guān)控制.

質(zhì)量保證和過程優(yōu)化: 諸如提供氣體成分定量測(cè)定, 確定過程氣體純度, 以及監(jiān)測(cè)真空鍍膜過程相關(guān)氣體成分等能力, 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 是過程記錄和質(zhì)量保證中的重要工具. 即使測(cè)量正在執(zhí)行, 所有測(cè)量值也會(huì)得到存儲(chǔ), 并且可以在不停止測(cè)量的情況下追蹤. 即使仍在執(zhí)行測(cè)量, 也可以導(dǎo)出測(cè)量結(jié)果以進(jìn)行進(jìn)一步分析.

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