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隨著現(xiàn)代電子技術(shù)的快速發(fā)展,電子產(chǎn)品已經(jīng)成為人們?nèi)粘I钪?的工具,其中短、小、輕、薄已經(jīng)成為了電子產(chǎn)品的主要發(fā)展方向,這也給電子制造工藝及清洗用水標(biāo)準(zhǔn)帶來了很大的挑戰(zhàn):非極性污染物(松香樹脂和油等)、極性污染物(助焊劑活性劑和鹽等)及顆粒狀污染物的殘留,會直接造成印制板和元器件表面漏電、短路、斷路或形成腐蝕導(dǎo)致失效,必然會影響電子工藝的順利實(shí)施或產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。因此,必須在工藝實(shí)施的環(huán)節(jié)中加入清洗工序。我國早在1957年制訂了電子級純水標(biāo)準(zhǔn),至今要求電子級標(biāo)準(zhǔn)2002年標(biāo)準(zhǔn)為18. 3M Ω . cm (溫度25°C ),達(dá)到電子級超純水的理論值。
電子級超純水是指原水中的導(dǎo)電質(zhì)幾乎*去除,水中不解離的膠體物質(zhì)、氣體、微生物及有機(jī)物的含量降至較低的程度。常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等,此外,其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路和真空管等的制作也都要使用超純水。
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