四方光電塵埃粒子計(jì)數(shù)器精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)微粒污染，助力顯示面板制程良率提升

受益于下游電視、電腦、手機(jī)等消費(fèi)類(lèi)電子產(chǎn)品以及商顯、車(chē)載、醫(yī)療等專(zhuān)顯產(chǎn)品需求的推動(dòng)，近年來(lái)中國(guó)顯示面板市場(chǎng)規(guī)模整體呈增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，由2016年的2984億元增長(zhǎng)至2023的5694億元，但整體增速逐步趨緩，市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)進(jìn)一步加劇。中大尺寸市場(chǎng)仍由LCD技術(shù)主導(dǎo)，但競(jìng)爭(zhēng)格局較為固定，需要進(jìn)一步提升產(chǎn)品良率，降本增效，以提升產(chǎn)品利潤(rùn)和競(jìng)爭(zhēng)力。OLED技術(shù)逐漸成熟，占領(lǐng)小尺寸市場(chǎng)，但與LCD相比在工藝成熟度和產(chǎn)品良率上仍有較大的提升空間。綜上，在LCD和OLED面板的制造中，產(chǎn)品良率提升都是下一階段需要迫切解決的問(wèn)題。

平板顯示制程良率受微粒污染和靜電損害影響

以TFT-LCD為代表的顯示面板生產(chǎn)過(guò)程主要有三個(gè)工序 Array、Cell 和 Module，制造程序復(fù)雜，制造過(guò)程中需要進(jìn)行嚴(yán)格的環(huán)境管控，減少對(duì)產(chǎn)品的損害。OLED因其構(gòu)造簡(jiǎn)單，制造流程不像LCD那樣復(fù)雜，但也需要在潔凈環(huán)境中生產(chǎn)。在平板顯示制程中影響產(chǎn)品良率的污染物有很多，包括金屬離子、氣態(tài)分子污染物、微粒、細(xì)菌以及靜電等，其中對(duì)LCD和OLED制程良率影響最大的是微粒污染和靜電損害。

• 微粒污染

隨著器件微型化和精細(xì)化進(jìn)程的加快，高密度的集成電路的圖形特征尺寸和表面沉積層的厚度都已經(jīng)降到微米級(jí)別，更容易受到微粒的影響，基板表面微粒沉積，易引起基板點(diǎn)缺陷甚至線(xiàn)缺陷特性不良，降低良品率。

• 靜電顆粒吸附污染

靜電的產(chǎn)生是因?yàn)槊恳环N材料的電子能級(jí)不同，兩種不同材料在接觸時(shí)會(huì)發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。由于靜電的負(fù)面效應(yīng)，使得保持高水準(zhǔn)的產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品良率更加困難。平板顯示制程中常見(jiàn)靜電損害主要有ESA（顆粒吸附）污染、ESD（靜電放電）污染和電磁波干擾引起的設(shè)備故障三種。其中ESA污染是因?yàn)楫a(chǎn)品制程中的移動(dòng)會(huì)造成產(chǎn)品表面有靜電場(chǎng)的存在，它的靜電場(chǎng)會(huì)把附近的微粒吸引到它的表面，并且其吸力較大，極難在沒(méi)有機(jī)械力的情形下清除。微粒的靜電吸附，增加了芯片表面的污染，進(jìn)而降低了良率。

所以為了提高平板顯示制程良率，在控制靜電損害的同時(shí)，也要重視對(duì)于微粒的監(jiān)測(cè)，保證生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度。通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)控微粒的變化參數(shù)，如果微粒超標(biāo)可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)，采取針對(duì)性措施進(jìn)行防控改善，以減少落在芯片和設(shè)備表面的微塵粒子，降低因?yàn)槲⒘１旧砗挽o電微粒吸附（ESA）造成的產(chǎn)品損壞，提高良率。

四方光電研制的在線(xiàn)塵埃粒子計(jì)數(shù)器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)潔凈車(chē)間中單位體積內(nèi)空氣中不同粒徑的懸浮顆粒物的個(gè)數(shù)，并通過(guò)3.5寸觸摸屏顯示粒徑信息和警報(bào)提示，當(dāng)微粒超標(biāo)時(shí)可通過(guò)內(nèi)置蜂鳴器報(bào)警，能有效應(yīng)用于面板生產(chǎn)潔凈車(chē)間中，滿(mǎn)足監(jiān)測(cè)需求。四方光電在線(xiàn)塵埃粒子計(jì)數(shù)器OPC-6303DS/OPC-6510DS/OPC-6511DS采用光學(xué)散射原理，內(nèi)置四方光電的塵源智能識(shí)別模塊，具有高效粒子識(shí)別率，檢測(cè)精度高；內(nèi)置超聲波氣體流量傳感器，實(shí)現(xiàn)28.3L恒流采樣，數(shù)據(jù)長(zhǎng)期穩(wěn)定性高；低噪音渦輪風(fēng)機(jī)采樣，連續(xù)監(jiān)測(cè)穩(wěn)定性好，壽命長(zhǎng)；滿(mǎn)足IS014644-1:2015、新版GMP、JF1190-2008、GB/T6167-2007標(biāo)準(zhǔn)，廣泛應(yīng)用于百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等潔凈室環(huán)境。