GR.TF系列微型真空立式管式爐具有合理的性能設(shè)計(jì)，集多項(xiàng)功能于一身，安全性，可靠性，實(shí)用性均達(dá)理想效果。

1.高溫度1100℃，加熱區(qū)為200mm。

2.爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼之間裝有風(fēng)機(jī)，可以快速升降溫，爐殼表面溫度低。

3.爐管采用99高純剛玉管或者高純石英管、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。

4.爐膛材料采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口氧化鋁多晶纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，加熱爐膛由左右兩部分組成，其中右部分爐膛可整體向右翻轉(zhuǎn)110℃，方便取放實(shí)驗(yàn)物料、更換爐管。加熱元件采用瑞典康泰爾電阻絲。

5、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，儀表控制精度為±1℃，具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定能力并可編制各種升溫程序，具有超高溫報(bào)警功能，具有熱電偶損壞斷電功能，具有內(nèi)置參數(shù)密碼控制功能。

6、微型真空立式管式爐升溫速度為0-20℃/min，可編寫30段自動(dòng)升溫程序，可控硅控制，配備數(shù)顯LED電壓表、電流表。

7、可選配RS-485通訊接口，數(shù)據(jù)管理軟件，具有無紙記錄歷史數(shù)據(jù)和升溫曲線，校正溫度偏離誤差的功能，可以管理多臺設(shè)備和遠(yuǎn)程故障診斷分析。

8、多種安全防護(hù)設(shè)計(jì)，安全性能好，使用壽命長。

9.真空度可以達(dá)到10pa（機(jī)械泵），如果需要更高真空度可以選擇分子泵，達(dá)到6.67x10-3pa。

選配配置：

1、玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)、質(zhì)子流量計(jì)和進(jìn)出口管道

2、真空泵（機(jī)械泵、分子泵）

3、安裝調(diào)試，培訓(xùn)

4、剛玉坩堝

5、備品備件

6、報(bào)警器（超溫、設(shè)備異常）與蜂鳴器（設(shè)備運(yùn)行結(jié)束提示）

7、自動(dòng)進(jìn)氣（氣體保護(hù)）、自動(dòng)放氣（超壓）、自動(dòng)抽真空

8、一路及多路CVD供氣系統(tǒng)

9、真空計(jì)