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全自動橢偏檢測機臺紫外光譜儀

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更新時間：2022-10-03 09:28:20瀏覽次數(shù)：332次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品簡介

全自動橢偏檢測機臺

詳細介紹

產品簡介：全自動橢偏檢測機臺作為一種小型橢偏集成機臺，通過整體高度模塊化，電、氣路集成技術，實現(xiàn)不同橢偏測量模塊在線/離線式整體橢偏測量解決方案。全自動橢偏檢測機臺廣泛應用于科學研究中各種各向同性，異性薄膜材料的膜厚、光學常數(shù)以及一維、二維納米光柵的結構表征；工業(yè)領域新型光電器件行業(yè)所涉及的薄膜（配向膜、光刻膠、ITO、發(fā)光薄膜、封裝薄膜）全片離線化快速掃描測量。

產品型號	全自動橢偏檢測機臺
主要特點	1、支持實驗室研究整體橢偏集成控制測量技術 2、支持產線大基片離線自定義多點掃描測量并輸出報告 3、支持多橢偏方案，多組合集成 4、支持測頭模塊以及樣件機臺定制化
技術參數(shù)	自動化程度	可變/固定角
	應用定位	高階高精度型	高精度型
	單次測量時間	0.5-5s
	分析光譜	380-1000nm（支持擴展至193-2500nm）
	Mapping行程	支持100x100mm行程擴展
	支持樣件尺寸	支持200mm樣件