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生長納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW

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更新時間：2020-12-18 16:46:01瀏覽次數(shù)：201次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

生長納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：生長納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW是一種緊湊型CVD爐，專為生長各種納米線而設計，基片大3″。在法蘭的左側(cè)裝有一個小加熱器，可對輸入的氣體、液體、固體進行預加熱后進入 CVD 爐進行納米線的生長。其可滑動的樣品架使操作更為簡單。

產(chǎn)品型號	生長納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風裝置：需要
主要特點	1、由OTF-1200X-4單溫區(qū)爐演變而來的緊湊型CVD爐。 2、內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。 3、帶樣品支架的右法蘭是滑動的，方便樣品的快速取放。 4、左側(cè)的小加熱器可對輸入CVD 爐的氣體、液體、固體或混合物進行預加熱，不銹鋼加熱腔外徑30mm、長150mm工作溫度600℃。 5、左邊法蘭（在加熱器與CVD爐之間）裝有4個1/4″卡套連結(jié)的通氣管，具有密封和氣體通道的作用。 6、PID自整定數(shù)字控制器，可以設置30段升降溫程序。 7、選配相關軟件可用計算機進行控溫。 8、已通過CE認證。
技術參數(shù)	1、額定電壓：單相AC 220V 50Hz/60Hz 2、額定功率：3KW（需20A的空氣開關） 3、石英管：外管外徑Ø110mm，內(nèi)徑Ø102mm，長381mm 4、加熱區(qū)域：CVD爐400mm，加熱器150mm 5、工作溫度：CVD1100℃（<2h），連續(xù)工作200℃-1000℃，大升降溫速率10℃/min；　　加熱器連續(xù)工作0-500℃，大升降溫速率10℃/min 6、控溫精度：±1℃ 7、熱電偶：K型 8、右法蘭：一個3″石英樣品支架，與石英擋板、法蘭連成一體，設有KF25真空快接口，以及水冷接口（可選配水冷機，避免O型圈融化） 9、左法蘭：有2個獨立1/4″口，可單獨將任何氣體通入爐內(nèi)，一路1/4″口將預熱氣體通入CVD爐，一路1/4″口　　將不加熱的氣體通入爐內(nèi)，并通過爐內(nèi)的T型結(jié)構(gòu)與加熱氣體匯合
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：1200mm×450mm×510mm；重量：100kg
可選配件	1、水冷機 2、控溫軟件