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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所  在  地

聯(lián)系方式：金查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2020-12-18 16:51:50瀏覽次數(shù)：194次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷(xiāo)商

商鋪產(chǎn)品：980條

所在地區(qū)：遼寧沈陽(yáng)市

聯(lián)系人：金 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，可進(jìn)行半導(dǎo)體基片、太陽(yáng)能電池及其它樣品（尺寸可達(dá)3″ ）的退火，并采用 10KW的紅外燈進(jìn)行加熱升溫速度可達(dá) 120℃/s，配有RS485 接口，可以通過(guò)控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。

 

 

產(chǎn)品型號(hào)

高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層Al2O3纖維鋼構(gòu)，無(wú)需水冷或風(fēng)冷。

2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

3、PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過(guò)熱保護(hù)和斷偶功能。

4、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：?jiǎn)蜗?/span>208V-240V AC  50Hz/60Hz  10KW

2、石英管：外徑Ø110mm，內(nèi)徑Ø103mm，長(zhǎng)380mm

3、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長(zhǎng)200mm，絲圈Ø10mm，燈長(zhǎng)300mm

4、加熱區(qū)：300mm

5、工作溫度溫度1100℃

6、控溫精度：±0.5℃

7升溫速度：RT-800℃時(shí)為50℃/s，800℃-1000℃時(shí)為10℃/s

8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動(dòng)控制

9、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長(zhǎng)時(shí)間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水　冷，循環(huán)水流量為0.5m3/hr

10、真空度：10-2torr（機(jī)械泵），10-5torr（分子泵）

11、質(zhì)量流量計(jì)：3個(gè)，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS

12、混氣罐：Ø80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

重量：爐體45kg，真空混氣系統(tǒng)75kg


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