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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2023-05-07 08:09:44瀏覽次數(shù)：152次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線SKCC-YCB-X高真空磁控濺射永磁靶頭
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：SKCC-YCB-X高真空磁控濺射永磁靶頭適用靶材種類(lèi)較廣，如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環(huán)形永磁體在靶頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性?？膳cDC或RF電源配合使用。
| 產(chǎn)品型號(hào) | SKCC-YCB-X（高真空磁控濺射永磁靶頭） |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 2寸，SKCC-YCB-2 3寸，SKCC-YCB-3 4寸，SKCC-YCB-4 5寸，SKCC-YCB-5 6寸，SKCC-YCB-6 7寸，SKCC-YCB-7 |
| 主要特點(diǎn) | 1、采用高質(zhì)量的不銹鋼和永磁材料制作。 2、采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來(lái)設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均勻分布。 3、的磁性材料冷卻裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，避免冷卻水腐蝕磁性材料，延長(zhǎng)其使用壽命。 4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配。 5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作。 6、靶材更換較為簡(jiǎn)單，無(wú)需調(diào)整濺射頭的高度。 |
| 配套電源 | 1、直流DC；2、射頻RF |
| 備注 | 2寸折靶，SKCC-YCB-2-Z 3寸折靶，SKCC-YCB-3-Z 4寸折靶，SKCC-YCB-4-Z |
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