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SKCC-TFB-X高真空磁控濺射永磁靶頭（條形方靶）

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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

SKCC-TFB-X高真空磁控濺射永磁靶頭（條形方靶）

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：SKCC-TFB-X高真空磁控濺射永磁靶頭（條形方靶）適用靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環(huán)形永磁體在靶頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性?？膳cDC或RF電源配合使用。

產(chǎn)品型號(hào)	SKCC-TFB-X（高真空條形方靶）
產(chǎn)品規(guī)格	SKCC-TFB-X： X代表方靶的“長X寬”尺寸，例如：方靶尺寸：300X70(mm)，則名稱為：SKCC-TFB-300x75 700X90(mm)，SKCC-TFB-700x90 1000X120(mm)，SKCC-TFB-1000x120 方靶尺寸范圍：長：220-2000，寬：75-150 單位：mm 其它尺寸可以根據(jù)客戶要求訂制：
主要特點(diǎn)	1、采用電磁場的有元計(jì)算法來設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場強(qiáng)度和均勻分布； 2、條形方靶采用特殊結(jié)構(gòu)（大型條形方靶經(jīng)過生產(chǎn)線檢驗(yàn)），可保證長期工作； 4、標(biāo)準(zhǔn)的接頭，大型與DC匹配,小型既可以與DC電源匹配也可以與RF電源相匹配； 5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭（CF金屬密封或Dg膠圈密封可選）； 6、靶材更換較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度。
配套電源	1、直流DC；2、射頻RF