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詳細(xì)介紹
日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有精確性高、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不加τ梅較虻男枰峁┝碩嘀摯裳∨渲茫ü∨淙上窀郊鬃盎箍梢約蟮乩┏湟瞧韉墓δ?、黚r />
日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000主要特點(diǎn)
1. 具有良的臺階高度重復(fù)性5Å (1σ)和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）；
2. 高分辨率，縱軸分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度；
3. 高直線度： 0.005μm/5mm，可測定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等；
4. 低測定力：采用直動力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測定軟質(zhì)材料；
5. 即時監(jiān)控系統(tǒng)：配置標(biāo)準(zhǔn)CCD，可即時監(jiān)控量測位置；還可選購Top View CCD，進(jìn)行高精度定位量測；
6. 可擴(kuò)充成三次元設(shè)備和追加三次元解析軟件，觀察樣品全貌和測定臺階移動量；
7. 采用天然金剛石(R2μm)作為探頭，經(jīng)久耐用；
日本KOSOKAE探針式輪廓儀T4000產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | ET4000M | ET4000A | ET4000L | |
| 樣品尺寸 | 300x300mm | 210x210mm | 300x400mm | |
| 樣品臺 | 尺寸 | 320x320mm | 220x220mm | 540x400mm |
| X軸傾斜度 | ±1mm/150mm(機(jī)動傾斜） | |||
| Y軸傾斜度 | —— | ±1mm/150mm(機(jī)動傾斜） | ||
| 承重 | 2Kg | |||
| 檢出器 | 力 | 0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可調(diào)節(jié) | ||
| 范圍 | 100μm | |||
| 驅(qū)動 | LVDT直動式（差動變壓器） | |||
| 觸針 | ET-1479(R2μm) | ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm) | ||
| X軸 | 測長 | 100mm | ||
| 直線度 | 0.005μm/5mm(0.1μm/100mm) | |||
| 速度 | 0.005-2mm/s(定位速度10mm/s） | |||
| 重復(fù)性 | ±5μm（定位） | |||
| Y軸 | 測長 | —— | 150mm | 400mm |
| 直線度 | —— | 5μm/150mm | ||
| 重復(fù)性 | —— | ±5μm（定位） | ||
| Z軸 | 測長 | 52mm | ||
| 放大倍數(shù) | 垂直 | 50-2000000 | ||
| 水平 | 1-10000 | |||
| 3D | —— | 可選擇 | ||
| θ軸 | —— | 可選擇 | ||
| 輔助功能 | 教學(xué)、機(jī)動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等 | |||
| 監(jiān)控系統(tǒng) | 攝像裝置 | 1/2 inch CCD (768x494像素） | ||
| 監(jiān)視裝置 | 視頻捕捉板 | |||
| 應(yīng)用 | 成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度 | |||
| 重復(fù)性 | 1σ0.5nm | |||
| 電源 | AC100V 800VA | |||
| 外觀尺寸 | W660xD580xH660mm 200Kg | W930xD930xH790mm 380Kg | ||
日本KOSOKAE探針式輪廓儀T4000應(yīng)用
全自動接觸式輪廓儀ET4000系列可適用于薄膜、 FPD、晶片、磁盤和與納米材料相關(guān)物件，測量微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等，可應(yīng)用于半導(dǎo)體、微量流控、精細(xì)加工和存儲器等行業(yè)。
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