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MDPlinescan在線少子壽命測(cè)試儀

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束蘊(yùn)儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

靈活的OEM少子壽命測(cè)試儀器，用于各種不同樣品的少子壽命測(cè)量，從單晶硅磚到多晶硅磚，從生長(zhǎng)的硅片到不同層或金屬化的硅片的過程控制。標(biāo)準(zhǔn)的軟件接口，便于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。

詳細(xì)介紹

在眾多的少子壽命測(cè)量方法中，MDP（微波檢測(cè)光電導(dǎo)率）采用改進(jìn)的少子壽命檢測(cè)技術(shù)，是微波檢測(cè)光電導(dǎo)衰減法檢測(cè)儀中常用的儀器之一，少子壽命測(cè)試儀原理從載流子輸運(yùn)原理出發(fā)，建立廣義速率方程和偏微分方程系統(tǒng)。擁有的靈敏度和分辨率，很大程度提升在線檢測(cè)的速度和質(zhì)量，快速出具少子壽命測(cè)試的實(shí)驗(yàn)報(bào)告。

MDPlinescan被設(shè)計(jì)成一個(gè)易于集成的OEM設(shè)備，可以集成到各種自動(dòng)化檢測(cè)線。關(guān)鍵的是在傳送過程中進(jìn)行少子壽命掃描。樣品通常由測(cè)量頭下面的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)攜帶。應(yīng)用實(shí)例包括從晶磚到晶圓檢測(cè)，單晶少子壽命測(cè)試、多晶少子壽命測(cè)試，每塊晶圓的測(cè)量速度小于一秒。電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是經(jīng)典的通用案例，也用于鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查，還有許多其他特殊的應(yīng)用的可能性。易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源。

MDPlinescan W

包括一個(gè)額外的電阻率測(cè)量選項(xiàng)。

優(yōu)點(diǎn)：

◇ 在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激勵(lì)條件下線掃描少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個(gè)小型設(shè)備的重要功能；

◇ OEM設(shè)備可以集成到多晶或單晶硅片的生產(chǎn)線上，在不同的制備階段，直至器件、磚塊或晶錠。

◇ 小巧的尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)化接口使其易于集成。重點(diǎn)是測(cè)量結(jié)果的長(zhǎng)期可靠性和精確性。

示范性線狀掃描圖

細(xì)節(jié)：

◇ 允許單晶圓片調(diào)查

◇ 不同的晶圓級(jí)有不同的配方

◇ 監(jiān)控物料、工藝質(zhì)量和穩(wěn)定性

技術(shù)規(guī)格:

樣品	多種尺寸的多晶或單晶晶片，如156mm×156mm、晶磚、電池片等
樣品尺寸	50 x 50 mm2以上
電阻率	0.2 - 103Ω·cm
電導(dǎo)類型	P,N
樣品類型	硅片、部分或加工的硅片、化合物半導(dǎo)體及更多的產(chǎn)品
可測(cè)量的特性	少數(shù)載流子壽命
硬件接口	以太網(wǎng)
尺寸規(guī)格	體積：174 x 107 x 205mm；重量：3公斤
電源	24 V DC, 2 A