CA-DR-系列電容式加速度傳感器

變電容式加速度傳感器具有較好的低頻特性且具有直流響應(yīng)，與其它類型的加速度傳感器相比其靈敏度高、環(huán)境適應(yīng)性好，尤其是受溫度的影響比較?。徊蛔阒帪樾盘柕妮斎肱c輸出呈非線性關(guān)系、量程有限、受電纜的電容影響較大；其通用性不如壓電式加速度傳感器，且成本也比壓電式加速度傳感器高得多。隨著微機(jī)電技術(shù)的發(fā)展，如今的電容式加速度傳感器都普遍采用的MEMS技術(shù)制造。下圖顯示了一種MEMS變電容式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)，它的整個敏感元件由粘在一起的三個單晶硅片構(gòu)成。其中上、下硅片構(gòu)成兩個固定電極，中間的硅片通過化學(xué)刻蝕形成由柔性薄膜支撐的具有剛性中心質(zhì)量塊的形狀，薄膜的厚度取決于該加速度傳感器的量程。另外，在薄膜上還有刻蝕出的小孔，當(dāng)薄膜隨質(zhì)量塊運動時，空氣流經(jīng)小孔從而產(chǎn)生所需的阻尼力。由于采用MEMS技術(shù)得到了這種一體化的結(jié)構(gòu)，它的可靠性是相當(dāng)高的。

CA-DR-系列電容式加速度傳感器

特點：

     l   利用壓電材料的正壓電效應(yīng)

     l   內(nèi)裝IEPE隔離二芯低阻電壓輸出

     l   隔離浮置，工業(yè)現(xiàn)場監(jiān)測，抗干擾性能強(qiáng)

電氣指標(biāo)：

靈敏度：100mV/g±(25℃，160hz)

頻響：0.5到13,000Hz（±3dB）

高振幅：50g

隔離：電路與外殼絕緣

振幅非線性：≤±1%

橫向靈敏度：≤5%

電源：2到10mA恒流，18－30VDC

共振頻率：30kHz

傳輸距離：300米（在測量低頻的速度、位移等）。

輸出方式：A（白色線纜）：OUT