μsurf 移動(dòng)3D共聚焦顯微鏡光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)是針對(duì)大型物體檢測(cè)(如軋輥和車身)而研發(fā)的。本系統(tǒng)以穩(wěn)定的的μsurf共聚焦技術(shù)為基礎(chǔ),因此它適用于嚴(yán)苛的生產(chǎn)環(huán)境。全套設(shè)備只有5.5kg,因此可以放在移動(dòng)式運(yùn)輸箱里并使用任何汽車進(jìn)行搬運(yùn)。到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)后,這套系統(tǒng)只需要幾分鐘的準(zhǔn)備時(shí)間就能投入使用。
μsurf 移動(dòng)3D共聚焦顯微鏡的粗糙度測(cè)量結(jié)果遵循DIN,EN,ISO等標(biāo)準(zhǔn),可以分析三維形貌和測(cè)量微觀尺寸并自動(dòng)得出形狀結(jié)構(gòu)和體積參數(shù),測(cè)量結(jié)果會(huì)被轉(zhuǎn)移到一個(gè)可自由定義的分析軟件中進(jìn)行進(jìn)一步處理。在軋輥性能檢測(cè)中,它表面的紋理和缺陷能夠被精確的檢測(cè)和評(píng)估。這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)在許多企業(yè)里得到成功的應(yīng)用,這些企業(yè)涵蓋汽車行業(yè)、印刷和造紙行業(yè)、醫(yī)療技術(shù)行業(yè)、微電子技術(shù)行業(yè);同樣,我們的技術(shù)同樣應(yīng)用在眾多研究機(jī)構(gòu)。
硬件 圖像采集模塊 | 采用*掃描技術(shù)的高速數(shù)字相機(jī)掃描,高達(dá)55幀/秒, 512x512像素,10位,火線接口 |
光源 | 高性能LED燈(λ=505nm),平均*時(shí)間:50000h |
X、Y軸模塊MN50 | 精密定位模塊,X、Y軸測(cè)量范圍:50x50mm2 |
Z軸模塊MN35 | 精密掃描模塊,行程:35mm |
Z軸模塊NV250 | 高速超高精度掃描模塊(壓電模塊),行程:250μm, 分辨率<10nm |
外圍裝置及控制器 | 臺(tái)式機(jī)/筆記本/桌上型臺(tái)式機(jī),Windows XP專業(yè)版,4GB RAM,火線接口,DVD光驅(qū),以太網(wǎng)絡(luò),3D導(dǎo)航器,集 成的移動(dòng)便攜式運(yùn)輸箱 |
底座 | 為了檢測(cè)軋輥表面形貌,設(shè)計(jì)了特殊的底座,用于測(cè)量直 徑>200mm的軋輥 |