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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
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更新時(shí)間：2020-06-15 14:33:35瀏覽次數(shù)：273次
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4"-8"/8"-12"晶圓適用，可應(yīng)對薄晶圓鍵合。
晶圓鍵合智能測繪料籃內(nèi)晶圓，兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
晶圓鍵合可對已鍵合晶圓進(jìn)行自動校正
可定制真空熱壓/UV/激光等方式實(shí)現(xiàn)解鍵合（Wafer Debonding）
晶圓鍵合應(yīng)用于晶圓臨時(shí)性鍵合wafer debonding工藝
Wafer Debonding晶圓鍵合特點(diǎn)：
4”-8”/8”-12”晶圓適用，可應(yīng)對薄晶圓鍵合。
晶圓鍵合智能測繪料籃內(nèi)晶圓，兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
晶圓鍵合可對已鍵合晶圓進(jìn)行自動校正
可定制真空熱壓/UV/激光等方式實(shí)現(xiàn)解鍵合（Wafer Debonding)
晶圓鍵合配有高精度機(jī)械手，可自動撕除晶圓臨時(shí)鍵合所用到的膠膜
解鍵合機(jī)可自動為晶圓貼覆切割膜
可選配嵌入式紫外線照射模塊
工控機(jī)+Windows系統(tǒng)
SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力
晶圓鍵合Wafer Debonding規(guī)格參數(shù)：
晶圓鍵合機(jī) wafer debonding系列
晶圓尺寸 4”-8”/8”-12”
支持基板 玻璃
激光/UV/加熱器 可選
晶圓切割膜覆蓋 搭載
解鍵合機(jī)撕膜模塊 搭載
晶圓盒形式 兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料
其他 SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力
Wafer Debonding晶圓鍵合相關(guān)產(chǎn)品：
衡鵬供應(yīng)
超薄晶圓支持系統(tǒng)/超薄晶圓臨時(shí)鍵合/wafer bonding/wafer debonding/wafer bonder/晶圓鍵合
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