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3軸機(jī)械臂小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司

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小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂SSCR3090S系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部

詳細(xì)介紹

小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：

超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂SSCR3090S系列

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運(yùn)，通過優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，

有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：90mm

同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒有Z軸模塊的機(jī)械手臂

配備動(dòng)作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸使用2相步進(jìn)電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

晶圓固定方式：真空吸附式，下托式

手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供的手指

小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境	潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂	單臂
到達(dá)距離	175mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸行程	150mm
可搬運(yùn)質(zhì)量	0.1kg (只包含被搬運(yùn)物體)(手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))