Agilent VHS-4擴(kuò)散泵具有 4 英寸、6 英寸、250 mm、10 英寸和 400 mm 多種尺寸。VHS 系列擁有*的凸腔設(shè)計(jì)能使氣體捕集量翻倍，并且可以保持更低的壓力。所有 VHS 系列泵都配有油位觀察窗/注油和放油組件，便于連續(xù)監(jiān)測(cè)和對(duì)泵油的維護(hù)。鰭片式加熱盤(pán)設(shè)計(jì)增大了表面積，并延長(zhǎng)了泵油的使用壽命。過(guò)熱保護(hù)開(kāi)關(guān)和速冷盤(pán)管也是標(biāo)準(zhǔn)配置。4 英寸、6 英寸和 10 英寸泵可隨泵訂購(gòu) ASA 或 ISO 法蘭、標(biāo)準(zhǔn)或外延冷卻帽，還有多種電壓型號(hào)可選。
Agilent VHS-4擴(kuò)散泵特性：
1.可達(dá)到極限的抽氣速度
2.油位觀察鏡可隨時(shí)快速指示泵流體的狀況
3.泵油注排組件
4.分餾噴嘴可純化泵油
5.前級(jí)耐壓高
6.過(guò)熱保護(hù)
7.不銹鋼泵體和噴嘴
8.鰭片式加熱盤(pán)設(shè)計(jì)增大表面積，并延長(zhǎng)泵油的壽命
技術(shù)指標(biāo)：
| 抽氣速率，工作范圍 抽氣速率，AVS4.1 (1963) | 750 L/s 空氣，940 L/s 氦氣和氫氣 1200 L/s 空氣 |
| 大抽氣量 | 在工作范圍內(nèi)為 1.5 T L/s (2.0 mbar L/s)，0.01 Torr 時(shí)為 2.5 T L/s (3.2 mbar L/s) |
| 操作范圍 | 2 x 10-3 至低于 5 x 10-9 torr（2.7 x 10-3 至小于 6.5 x 10-9 mbar） |
| 大前級(jí)耐壓 | 無(wú)負(fù)載：0.65 torr (0.85 mbar) 滿載：0.55 torr (0.73 mbar) |
| 推薦前級(jí)泵 | ≥10 cfm (17 m3/h) |
| 返油率，標(biāo)準(zhǔn)冷卻帽 | 低于 5 x 10-4 mg/cm2/min |
| 預(yù)熱時(shí)間 | 10 min |
| 冷卻時(shí)間 | 10 分鐘（使用速冷盤(pán)管） |
| 注油量 | 300 cc |
| 電氣要求 | 單相，50/60 Hz，120/208/240 VAC |
| 泵功率 | 1450 W |
| 冷卻水要求 | 在 60-80 ℉ (15-26 ℃) 時(shí)，抽速為 0.15 gpm (30 L/h) |
| 連接水冷 | 1/8 英寸 FPT 三通 |
抽速曲線：
抽速/標(biāo)準(zhǔn)冷卻帽 抽速/外延冷卻帽 通導(dǎo)
外形圖：
環(huán)保在線