X射線光柵是非常精密的光學(xué)器件，對制作工藝的要求很高，尤其是制作高質(zhì)量的二維X射線光柵的難度更大，因此，高質(zhì)量的二維X射線光柵倍受相關(guān)科研人員的期待。

■憑借的線倍頻技術(shù)，可以實現(xiàn)精確到5nm的X射線束聚焦

■基于電子束光刻的制造工藝，實現(xiàn)多階閃耀光柵的設(shè)計加工，光學(xué)效率高

■金剛石光學(xué)器件，輻射穩(wěn)定性高

哈特曼光柵

Hartmann wavefront sensor plates

Description

- 2D arrays of holes for wavefront sensing

- Etched into silicon using deep reactive ion etching technology

- Possibilities for high-Z materials (Au, W)

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