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微區(qū)磁光克爾(MOKE)效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)

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克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)高性價(jià)比磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)!當(dāng)一束線偏振光照被磁性介質(zhì)反射后,反射光的偏振面相對(duì)于入射光的偏振面有一個(gè)小的角度(克爾旋轉(zhuǎn)角),這一現(xiàn)象被稱為磁光克爾效應(yīng)

詳細(xì)介紹

克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)

高性價(jià)比磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)!


當(dāng)一束線偏振光照被磁性介質(zhì)反射后,反射光的偏振面相對(duì)于入射光的偏振面有一個(gè)小的角度(克爾旋轉(zhuǎn)角),這一現(xiàn)象被稱為磁光克爾效應(yīng)。后來(lái)這一效應(yīng)被用來(lái)材料磁特性的研究。磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)就是一套準(zhǔn)確測(cè)量克爾旋轉(zhuǎn)角的設(shè)備。磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)是對(duì)極向克爾效應(yīng)和縱向克爾效應(yīng)克爾偏轉(zhuǎn)角準(zhǔn)確測(cè)量的設(shè)備,使得該設(shè)備成為研究磁性薄膜磁特性的測(cè)量工具。廣泛的應(yīng)用于磁性納米技術(shù)、磁性薄膜等領(lǐng)域。

磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)以激光作為光源,由于樣品磁光克爾效應(yīng)的磁性信號(hào)主要來(lái)自于光斑照射的區(qū)域,因此磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)具有良好的局域性,可以實(shí)現(xiàn)在微米區(qū)域內(nèi)材料磁特性的研究。此外以偏振激光束作為“探針",因此對(duì)樣品不會(huì)造成任何損傷,實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的無(wú)損測(cè)量,這對(duì)于需要做多次測(cè)量的樣品是有利的。

磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)具有的靈敏度,對(duì)克爾旋轉(zhuǎn)角的探測(cè)精度可達(dá)到±0.001度。這一點(diǎn)使該設(shè)備在磁性薄膜磁特性的研究中具有重要的地位。利用鐵芯電磁特產(chǎn)生外加磁場(chǎng),可以提供高達(dá)25KOe的外加磁場(chǎng)。

磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)、磁性測(cè)量系統(tǒng)、MOKE system、微米區(qū)域克爾磁光效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)、測(cè)量裝置

上海昊量光電設(shè)備有限公司的磁光克爾測(cè)量系統(tǒng)主要可分為以下三類:
①  極向測(cè)量磁光克爾效應(yīng)測(cè)量設(shè)備(MOKE磁滯回線測(cè)量系統(tǒng))
代表產(chǎn)品是BH-810系列。BH-810CPC25WF12磁光克爾效應(yīng)(MOKE)測(cè)量設(shè)備是其中的一款,主要是對(duì)12英寸的垂直磁記錄介質(zhì)磁特性的測(cè)量??梢詼?zhǔn)確的探測(cè)分析每個(gè)探測(cè)點(diǎn)的磁滯回線,該產(chǎn)品應(yīng)用408nm的固體激光器,光斑直徑為1mm,外加磁場(chǎng)可高達(dá)25KOe。




磁光克爾(MOKE)效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)





磁光克爾(MOKE)效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)
②  向測(cè)量磁光克爾效應(yīng)測(cè)量設(shè)備(MOKE磁滯回線測(cè)量系統(tǒng))
代表產(chǎn)品BH-618系列。BH-618SK-CA12是一款自動(dòng)測(cè)量晶圓磁特性和各向異性的磁光克爾測(cè)量系統(tǒng)。可以對(duì)12寸的晶圓進(jìn)行多達(dá)400個(gè)不同點(diǎn)的磁滯回線的測(cè)量,并且探測(cè)結(jié)果以成像的形式顯示。





③   微區(qū)域磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)(m-kerr system)(極向+縱向,MOKE磁滯回線測(cè)量系統(tǒng))
代表產(chǎn)品為BH-920系列。與前兩款產(chǎn)品相比, BH-920系列擁有更小的激光光斑,可以對(duì)微米區(qū)域內(nèi)的磁特性進(jìn)行研究。BH-P920-NH是可進(jìn)行極向的微區(qū)域磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng),該設(shè)備具有的靈敏度可達(dá)到0.001°。與BH-P920-NH相比BH-PI920不但具相同的探測(cè)靈敏度并且兼具進(jìn)行極向和縱向測(cè)量。





u  主要特點(diǎn)
l  高性能
l  成本低
l  高靈敏度(0.001°)
l  高穩(wěn)定性
l  高外加磁場(chǎng)(25KOe)


u  主要應(yīng)用
磁性納米技術(shù)、磁性薄膜,磁性材料等磁學(xué)領(lǐng)域


u  測(cè)量項(xiàng)目  

磁滯回線    
X軸:外加磁場(chǎng)強(qiáng)度 H
Y軸:克爾旋轉(zhuǎn)角  qk

通過(guò)磁滯回線可獲得的參數(shù)    
矯頑力 Hc
各向異性場(chǎng) Hk
內(nèi)稟矯頑力 Hn
飽和磁場(chǎng)強(qiáng)度 Hs
剩余磁化強(qiáng)度 qr
飽和磁化強(qiáng)度 qs


u  產(chǎn)品主要參數(shù):


產(chǎn)品型號(hào)

參數(shù)

BH-PI920系列

BH-P920-NH

BH-PI920

BH-810CPC25WF12

BH-618SK-CA12

產(chǎn)品特點(diǎn)

微區(qū)域測(cè)量系統(tǒng)可滿足縱向/極向測(cè)量

極向微區(qū)域克爾測(cè)量裝置,具有高靈敏度

微區(qū)域測(cè)量系統(tǒng)可滿足縱向/極向測(cè)量,具有較高的靈敏度

極向磁光克爾效應(yīng)測(cè)量,對(duì)PMR薄膜晶圓的磁特性測(cè)量

縱向磁光克爾測(cè)量系統(tǒng),可進(jìn)行多點(diǎn)磁滯回線的測(cè)量

激光光源

半導(dǎo)體激光器(405nm)  



半導(dǎo)體激光器 408nm

半導(dǎo)體激光器(405nm

光斑直徑

縱向測(cè)量

約 5mm [1/e2]

1-2mm

2-3mm

1mm

12mm

極向測(cè)量

約 2mm [1/e2]

探測(cè)靈敏度

± 0.005°

±0.001°

±0.001°

± 0.005°

± 0.005°

探測(cè)范圍

± 1°





外加磁場(chǎng)強(qiáng)度

極向磁體

    >±10kOe

>±10kOe

極向磁場(chǎng)

>±1.5T

>±25kOe

>±0.2T

面內(nèi)磁場(chǎng)

>±10kOe

面內(nèi)磁場(chǎng)

>±1T

可測(cè)樣品大小

551tmm~10101tmm


55~1010mm

t0.5~1mm  

12inch wafer

12inch wafer








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