日立肖特基場發(fā)射掃描電鏡SU8700
FE-SEM獲得的圖像分辨率高，信息豐富，樣品處理相對簡單，并且它可以觀察、測量并分析樣品的細微結(jié)構(gòu)，因此被廣泛應用于納米技術、半導體、電子器件、生命科學、材料等領域。近年來，以Materials Integration為代表，其應用領域及用途在不斷擴展，短時間內(nèi)獲取大量數(shù)據(jù)，減輕作業(yè)負荷成為市場的一大需求。為滿足這一需求，此次特推出的SU8700作為一款面向新時代的SEM，在日立電鏡貫有的高圖像質(zhì)量和高穩(wěn)定性的基礎上，增加了包括自動獲取數(shù)據(jù)等高通量的功能。
SU8700可配置各種分析附件，適用于從低加速觀察到高束流的EBSD分析，支持陶瓷、金屬等不同材料的解析。該系列產(chǎn)品的特點如下：
1．支持自動獲取數(shù)據(jù)
此外，為一次性獲取大量信息，單次掃描像素擴展到了40,960 x 30,720（選配），是之前型號的64倍。利用這一功能，可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評估多處局部的細微結(jié)構(gòu)。
在FE-SEM的觀察和分析中，需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標配自動調(diào)整功能，可避免人為操作導致的差異。
2．增加獲取信息的種類與數(shù)量
通過SEM能夠收集到多種信號，且此系列產(chǎn)品最多可以同時顯示和存儲6個檢測器的信號。在減少圖像獲取次數(shù)的同時能夠獲取多種信息。
此外，隨著儀器性能的提升，需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加，手動獲取各種大量數(shù)據(jù)會大大增加用戶的作業(yè)負擔。此系列產(chǎn)品可選配“EM Flow Creator"，用戶可根據(jù)自身需求設定條件，自動獲取數(shù)據(jù)，這對于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動開發(fā)起到重要作用。
3．增強信號檢測能力
SU8700的樣品倉設計巧妙，可使用短工作距離進行EDS分析，通過提高EDS分析的空間分辨率，能夠?qū)崿F(xiàn)更微小部位的分析。
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