奧林巴斯半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡MX63/MX63L具有多種功能，采用符合人體工學(xué)的易用設(shè)計，能夠提供zui大 300mm 晶圓、平板顯示器、印刷電路板、以及其他大型樣本的高品質(zhì)觀察。該產(chǎn)品采用靈活的模塊設(shè)計，能夠提供適用于多種檢查用途的*觀察系統(tǒng)。通過與奧林巴斯 Stream 圖像分析軟件結(jié)合，從觀察到報告生成在內(nèi)的整體檢查過程都變得簡單而流暢。

奧林巴斯半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡MX63/MX63L是該系列支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品，由此進(jìn)一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中，MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。

新MX63/MX63L顯微鏡特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測。MX63可用于zui大晶圓直徑200mm，MX63L可用于zui大晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機(jī)，實現(xiàn)可靠、安全、高效的對晶圓正面和背面進(jìn)行檢測。

新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設(shè)計讓檢測者能夠根據(jù)應(yīng)用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應(yīng)用而設(shè)計，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動組件均安裝在屏蔽結(jié)構(gòu)內(nèi)，鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過防靜電處理。