AL120晶圓搬送機(jī)可對應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，可以安全高效搬送薄片晶圓，非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

AL120晶圓搬送機(jī)

適應(yīng)范圍廣、搭配靈活

對應(yīng)多種尺寸組合

我們推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應(yīng)小于150 mm的晶圓）的3種型號。除此以外，您還可以根據(jù)檢查模式，選用微觀檢查型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。

薄片檢查

對應(yīng)薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設(shè)計(jì)可以搬運(yùn)整盒25枚90 μm的極薄晶圓。

高度實(shí)用性

進(jìn)一步優(yōu)化的宏觀檢查

• 宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。

• 利用360゜旋轉(zhuǎn)功能，*可以目視檢查整個(gè)晶圓（包括邊緣）。此外，在表面宏觀檢查中，使用操縱桿可隨意將晶圓zui大傾斜30゜進(jìn)行觀察。

元中銳科集成檢測技術(shù)有限公司是工業(yè)檢測技術(shù)和系統(tǒng)集成商。是日本奧林巴斯（OLYMPUS）株式會(huì)社工業(yè)顯微鏡，半導(dǎo)體檢查系統(tǒng)，工業(yè)內(nèi)窺鏡的代理商。致力于為工業(yè)制造和科研領(lǐng)域用戶提供顯微分析，圖像分析，缺陷識別和檢驗(yàn), 無損探查, 品質(zhì)管理, 計(jì)量，過程控制等專業(yè)檢測設(shè)備，依托強(qiáng)有力的技術(shù)資源及完善專業(yè)的售后服務(wù)與維修體系，向用戶提供專業(yè)成熟細(xì)致的服務(wù)及全面地解決方案。服務(wù)對象涵蓋科研院校，航天，冶金，電力，地質(zhì)，石油石化等材料研究行業(yè)，機(jī)械及微機(jī)械領(lǐng)域，以及電子領(lǐng)域，光電顯示制造,電子零件制造, 半導(dǎo)體，液晶及MEMS,NANO等諸多領(lǐng)域，為用戶提供*的儀器和完善的解決方案，為用戶工作提供強(qiáng)有力的技術(shù)的支持。