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無(wú)塵烘烤箱

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  • 型號(hào) EVC
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更新時(shí)間:2021-05-19 14:10:28瀏覽次數(shù):346

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EVC無(wú)塵烘烤箱的詳細(xì)資料:Class100CleanOvens一、設(shè)備用途:Class100潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)

詳細(xì)介紹

EVC無(wú)塵烘烤箱的詳細(xì)資料:

Class 100 Clean Ovens

一、設(shè)備用途:
      Class100 潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

二、產(chǎn)品特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過(guò)濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*溫度控制精度。
 

三.無(wú)塵高溫試驗(yàn)箱,潔凈烘箱,無(wú)塵烤箱,百級(jí)無(wú)塵烘箱,Class100 潔凈烘箱,百級(jí)無(wú)塵烤箱,100級(jí)潔凈烤箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):
 

1.主要技術(shù)指標(biāo):
   無(wú)塵等級(jí):Class 100;                   溫度范圍: RT+20~+300℃;
   溫度均勻度:200℃±4℃;              溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)        
   溫控精度:±0.1℃;                        工作尺寸:W800×D600×H1300         
   電源:380v , 50Hz,15KW           網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理
HEPA高效過(guò)濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。
M計(jì)裝可編程控制
1模式20步驟,最多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。
簡(jiǎn)單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝
標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設(shè)定動(dòng)作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過(guò)升防止器。 

設(shè)備型號(hào)溫度范圍內(nèi)容積其它參數(shù)內(nèi)尺寸
(W×D×Hmm)
外尺寸
(W×D×Hmm)
EVC150(RT+60)~+200℃150L潔凈度:100級(jí)500×500×600770×1100×1,350
EVC360(RT+60)~+200℃320L潔凈度:100級(jí)600×600×900770×1025×1850
EVC640(RT+60)~+200℃640L潔凈度:100級(jí)800×800×10001,030×1100×1850
EVCH150(RT+60)~+350℃150L潔凈度:100級(jí)500×500×600770×1100×1,350
EVCH360(RT+60)~+350℃360L潔凈度:100級(jí)600×600×900770×1025×1850
EVCH640(RT+60)~+350℃640L潔凈度:100級(jí)800×800×10001,030×1100×1850

2、箱體結(jié)構(gòu):
   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀(guān)美觀(guān)大方;
   箱體材料:外箱采用SUS304 ,1.5mm之拉絲不銹鋼,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,可防止微塵;
   內(nèi)膽材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
   中桶材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3、溫控系統(tǒng):
   采用日本“神港”溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自 動(dòng)演算、薄膜設(shè)定,精確度±0.3%FS。;
   訊號(hào)來(lái)源:采用PT100熱電阻±0.5%。
   輸出被控制組件:SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出。

4、完善的安全保護(hù)措施:
漏電斷路器、     控制線(xiàn)路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、
馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、 機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示   逆向防止器、 門(mén)面安全開(kāi)關(guān)

5、選購(gòu)設(shè)備(需另外收費(fèi)):
   可程式溫控器        無(wú)紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架

注:無(wú)塵等級(jí)和尺寸可根據(jù)要求定制。   


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