，紫外線是由電磁波組成，其本身所帶有的能量與波長直接有關(guān)，波長越短，能量越大。

通過采用D波段內(nèi)的真空紫外線（波長范圍170~184.9nm），照射氣體或惡臭氣體分子，當(dāng)這些氣體分子吸收了這類紫外線光后，因紫外線光本身所帶有的能量，使氣體或惡臭氣體分子內(nèi)部發(fā)生裂解，化學(xué)鍵斷裂，形成游離狀態(tài)的原子或基團(tuán)（C*、H*、O*等）。同時，混合氣體中的氧氣被紫外線光裂解形成游離的氧原子并結(jié)合生成臭氧【UV O2→O- O*(活性氧) O* O2→O3(臭氧)】；混合氣體中的水蒸氣被紫外線光裂解產(chǎn)生羥基【UV H2O→H OH-(羥基) 】，而這些生成的臭氧和羥基具有的氧化性，可將廢氣分子裂解產(chǎn)生的原子和基團(tuán)（甚至是氣體或惡臭氣體分子）氧化成H2O和CO2等   的低分子化合物。另外，利用   紫外線光束可裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進(jìn)行氧化反應(yīng)，   達(dá)到脫臭及的目的。