顯微硬度測(cè)量的準(zhǔn)確程度與金相樣品的表面質(zhì)量有關(guān)，需經(jīng)過磨光、拋光、浸蝕，以顯示欲評(píng)定的組織。

• 試樣的表面狀態(tài) 被評(píng)定試樣的表面狀態(tài)直接影響測(cè)試結(jié)果的可靠性。用機(jī)械方法制備的金相磨面，由于拋光時(shí)表層微量的范性變形，引起加工硬化，或者磨面表層由于形成氧化膜，因此所測(cè)得的顯微硬度值較電解拋光磨面測(cè)得的顯微硬度值高。試樣采用電解拋光，經(jīng)適度浸蝕后立即測(cè)定顯微硬度。
• 選擇正確的加載部位 壓痕過分與晶界接近，或者延至晶界以外，那么測(cè)量結(jié)果會(huì)受到晶界或相鄰第二相影響；如被測(cè)晶粒薄，壓痕陷入下部晶粒，也將產(chǎn)生同樣的影響。為了獲得正確的顯微硬度值，規(guī)定壓痕位置距晶界至少一個(gè)壓痕對(duì)角線長(zhǎng)度，晶粒厚度至少10倍于壓痕深度。為此，在選擇測(cè)量對(duì)象時(shí)應(yīng)取較大截面的晶粒，因?yàn)檩^小截面的晶粒其厚度有可能是較薄。
• 測(cè)量壓痕尺度時(shí)壓痕象的調(diào)焦 在光學(xué)顯微鏡下所測(cè)得壓痕對(duì)角線值與成像條件有關(guān)。孔徑光欄減小，基體與壓痕的襯度提高，壓痕邊緣漸趨清晰。一般認(rèn)為：的孔徑光欄位置是使壓痕的四個(gè)角變成黑暗，而四個(gè)棱邊清晰。對(duì)同一組測(cè)量數(shù)據(jù)，為獲得一致的成像條件，應(yīng)使孔徑光欄保持相同數(shù)值。
• 試驗(yàn)負(fù)荷 為保證測(cè)量的準(zhǔn)確度，試驗(yàn)負(fù)荷在原則上應(yīng)盡可能大，且壓痕大小必須與晶粒大小成一定比例。特別在測(cè)定軟基體上硬質(zhì)點(diǎn)的硬度時(shí)，被測(cè)質(zhì)點(diǎn)截面直徑必須四倍于壓痕對(duì)角線長(zhǎng)，否則硬質(zhì)點(diǎn)可能被壓通，使基體性能影響測(cè)量數(shù)據(jù)。此外在測(cè)定脆性質(zhì)點(diǎn)時(shí)，高負(fù)荷可能出現(xiàn)“壓碎"現(xiàn)象。角上有裂紋的壓痕表明負(fù)荷已超出材料的斷裂強(qiáng)度，因而獲得的硬度值是錯(cuò)誤的，這時(shí)需調(diào)整負(fù)荷重新測(cè)量。
• 壓痕的彈性回復(fù) 對(duì)金剛石壓頭施一定負(fù)荷的力壓入材料表面，表面將留下一個(gè)壓痕，當(dāng)負(fù)荷去除后，壓痕將因金屬的彈性回復(fù)而稍微縮小。彈性回復(fù)是金屬的一種性質(zhì)，它與金屬的種類有關(guān)，而與產(chǎn)生壓痕的荷重?zé)o關(guān)。就是說不管荷重如何，壓痕大小如何，彈性回復(fù)幾乎是一個(gè)定值。因此，當(dāng)荷重小時(shí)，壓痕很小，而壓痕因彈性回復(fù)而收縮的比例就比較大，根據(jù)回復(fù)后壓痕尺寸求得的顯微硬度值則比較高。這種現(xiàn)象的存在，使得不同荷重下測(cè)得的硬度值缺乏正確的比較標(biāo)準(zhǔn)，因此有必要建立顯微硬度值的比較標(biāo)準(zhǔn)。