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武漢賽斯特精密儀器有限公司


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Pluto-30等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地武漢市

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更新時(shí)間:2020-07-27 11:44:56瀏覽次數(shù):990次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Pluto-30等離子清洗機(jī)是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過(guò)程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。

詳細(xì)介紹

Pluto-30等離子清洗機(jī)是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過(guò)程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍,提供給用戶的靈活性。

Pluto-30等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):

氣體輸送系統(tǒng),提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置

*的射頻系統(tǒng)提供好的工藝重復(fù)性和處理效率

全自動(dòng)處理能力

圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動(dòng)流程并提供實(shí)時(shí)流程信息

臺(tái)式設(shè)計(jì)需要較小的占地面積

 

技術(shù)參數(shù):

 

應(yīng)用領(lǐng)域:

實(shí)用案例:微型電路板去膠

檢測(cè)設(shè)備:金相顯微鏡 (放大40倍)  實(shí)驗(yàn)設(shè)備:Pluto-30等離子表面處理機(jī)

   線路板上,有明顯殘膠存在

   氧氣,功率200W,殘膠已*清除

典型應(yīng)用

表面活化

提高表面能量以提高材料粘合性:預(yù)壓模粘合;預(yù)焊線粘合

增強(qiáng)表面膠體流動(dòng)性:預(yù)成型;預(yù)倒裝芯片下溢

 

表面粗糙度和蝕刻

降低表面應(yīng)力,改善表面粘結(jié)性

灰化和表面清潔

Plasma等離子蝕刻(配備RIE配置)

電介質(zhì)/III-IV材料

納米涂層(配備液體前體輸送裝置)

耐水納米涂層:印刷電路板表面處理

防腐納米涂層:科研,醫(yī)療植入物


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