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Pluto-30等離子清洗機(jī)

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更新時(shí)間：2020-07-27 11:44:56瀏覽次數(shù)：990次

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武漢賽斯特精密儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Pluto-30等離子清洗機(jī)是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過(guò)程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。

詳細(xì)介紹

Pluto-30等離子清洗機(jī)是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過(guò)程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶的靈活性。

Pluto-30等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

氣體輸送系統(tǒng)，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

不同工藝模式（RIE、下游等離子體等）的柔性電極配置

*的射頻系統(tǒng)提供好的工藝重復(fù)性和處理效率

全自動(dòng)處理能力

圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動(dòng)流程并提供實(shí)時(shí)流程信息

臺(tái)式設(shè)計(jì)需要較小的占地面積

技術(shù)參數(shù)：