儀器用途：
CW400LMDT-8″大平臺明暗場芯片檢查顯微鏡是適用于半導體晶圓的檢驗、芯片封裝、電路基板、材料等行業(yè)的理想儀器?？蛇M行偏光、暗視場及明視場觀察轉換。暗視場功能對觀察材料表面缺陷有特殊效果。配置大視野目鏡和長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)，視場大而清晰。專門設計的大移動范圍載物臺，移動范圍:8"×8"(204mm×204mm)，滿足半導體行業(yè)的需求。粗微動同軸調焦機構，粗動松緊可調，帶限位鎖緊裝置，微動格值:0.7μm。三目鏡筒，可進行100%透光攝影。
主要技術參數(shù)：
1、目鏡筒：三目鏡，轉軸式，傾斜30度、360°旋轉
2、目鏡：大視野 WF10X/22mm
3、無窮遠平場消色差明暗場專用物鏡:
PL L 5X/0.12 B.D 工作距離(Work distance)：9.7 mm
PL L10X/0.25 B.D 工作距離(Work distance)：9.3 mm
PL L20X/0.40 B.D 工作距離(Work distance)：7.2 mm
PL L50X/0.70 B.D 工作距離(Work distance)：2.5 mm
PL L80X/0.80 B.D 工作距離(Work distance)：1.25 mm
轉換器：內向式滾珠內定位五孔轉換器
4、總放大倍數(shù)：50X-800X
5、聚焦鏡：可調式阿貝聚焦鏡NA1.25，孔徑光闌，濾色片。
6、大工作臺：三層機械移動式，尺寸:280mmX270mm,移動范圍（X*Y）:204mmX204mm
7、調 焦 ：粗微動同軸調焦,升級范圍25mm，微動格值:0.7μm,帶鎖緊和限位裝置
8、落射照明系統(tǒng)：柯勒照明，落射照明12V50W，鹵素燈亮度可調，內置式視場光闌、孔徑光闌（黃、藍、綠、磨砂玻璃）濾色片轉換裝置，推拉式檢偏器與起偏器。
9、正交偏光裝置
10、防霉
環(huán)保在線