目錄:安徽科冪儀器有限公司>>爐式合成設(shè)備>>TF系列管式爐式設(shè)備>> 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 電阻絲 |
|---|---|---|---|
| 控溫精度 | ±1℃ | 升溫速度（達到最高溫） | ≤10℃//min |
| 儀器種類 | 管式爐 | 最大功率 | 3KW |
| 最高溫度 | 1150℃ |
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定；
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)；
可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長溫度更低。
型號：TFE - 1200 - 50 - 220
設(shè)計溫度：1150℃（短期）
額定溫度：1100℃
推薦升溫速率：≤10℃/min
控制精度：±1℃
爐管尺寸：Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸：Φ80*220mm
加熱區(qū)長度：220mm
恒溫區(qū)長度：80mm
加熱元件：優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲
額定功率：3KW
供氣系統(tǒng)：
①三路高精度MFC
②量程0-500sccm（可定制）
射頻電源：
①射頻功率：5-500W；
②射頻頻率：13.56MHz；
③匹配方式：自動匹配
真空系統(tǒng)：雙級旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等）
外形尺寸：1250*510*810mm
1
環(huán)保在線