XAD系列熒光光譜儀是一款全元素上照式光譜儀，可測量納米級厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚，也可滿足微區(qū)RoHS檢測及多元素成分分析，*的算法及解譜技術(shù)解決了諸多業(yè)界難題。

熒光光譜儀性能優(yōu)勢：

1. 微小樣品檢測：小測量面積0.0085mm²

2. 變焦裝置算法：可改變測量距離測量凹凸異形樣品，變焦距離可達(dá)0-90mm

3. 核心EFP算法：Al(13)-U(92)元素的成分分析，Li(3)-U(92)元素的涂鍍層檢測，多層多元素，甚至有同種元素在不同層也可精測量

4. *的解譜技術(shù)：減少能量相近元素的干擾，降低檢出限

5. 高性能探測器：SDD硅漂移窗口面積50mm²探測器

6. X射線裝置：微焦加強(qiáng)型射線管搭配聚焦裝置

7. 上照式設(shè)計(jì)：實(shí)現(xiàn)對超大樣品或者密集點(diǎn)位進(jìn)行快、準(zhǔn)、穩(wěn)高效率測量

8. 大行程移動(dòng)平臺(tái)：手動(dòng)XY滑臺(tái)100*150mm，自動(dòng)XY平臺(tái)210*260mm

應(yīng)用領(lǐng)域：

涂鍍層分析-RoHS檢測-地礦全元素分析-合金、貴金屬檢測

一六儀器研制的測厚儀*的光路交換裝置，讓X射線和可見光攝像同一垂直線，達(dá)到視覺與測試定位一體，且X光擴(kuò)散度?。慌cEFP軟件配合達(dá)到對焦、變焦雙焦功能，實(shí)現(xiàn)高低、凹凸不平各種形狀樣品的測試；高集成的光路交換裝置與接收器的角度可縮小一倍，可以減少弧度傾斜放樣帶來的誤差，同時(shí)特征X射線可以穿透測試更厚的表層。