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行業(yè)產(chǎn)品

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成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司


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固態(tài)微波遠(yuǎn)程等離子體源

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：宛女士查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-07-11 17:44:03瀏覽次數(shù)：286次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：47條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：宛女士 （市場(chǎng)專員）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

固態(tài)微波遠(yuǎn)程等離子體源

詳細(xì)介紹

技術(shù)規(guī)格

項(xiàng)目

特征

頻率

2450MHz

微波功率

額定1.5kW，3kW

功率穩(wěn)定度

≤1%

適用氣體

O2，N2, H2, Ar, He, CF4, SF6， CI2 等

運(yùn)行氣壓范圍

0.06-20 Torr

氣體流量范圍

0.1-10 slm

等離子發(fā)生腔材質(zhì)

石英、陶瓷、藍(lán)寶石可選

電源輸入

單相交流 110-264V/50-60Hz

冷卻方式

循環(huán)水冷， 8L/MIN， 5-25℃， 1/4"快速接口（固態(tài)微波源部分）
循環(huán)水冷， 3L/MIN，5-25℃

控制接口

DB9F / RJ45

等離子輸出端口

ISO-K 63

外形尺寸

350*250*140mm (等離子體放電腔部分)
450*308*318mm (固態(tài)微波源部分)

整體重量

50KG


應(yīng)用范圍

前道及后道半導(dǎo)體生產(chǎn)工序中的去膠

前道及后道半導(dǎo)體生產(chǎn)工序中的刻蝕

柔性PCB卷對(duì)卷工藝制作中聚酰亞胺薄膜的刻蝕

材料表面處理



外形尺寸

等離子體放電腔

圖片1

固態(tài)微波源

圖片2



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